[实用新型]一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构

说明书

本实用新型公开了一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，包括减速电机、磁控溅射靶材、轭铁和防护外壳组件，所述防护外壳组件内插接有出水接头和进水接头，所述减速电机输出端设有同步带，所述减速电机通过同步带与主轴旋转皮带轮传动连接，所述防护外壳组件内部位于进水接头的一侧设有空气密封圈，所述空气密封圈上设有压缩空气连接管，所述防护外壳组件内部位于空气密封圈的两侧分别设有二级密封圈和一级密封圈，所述防护外壳组件的内部转动安装有旋转主轴，且所述进水接头插接安装在旋转主轴内。本实用新型具备在使用过程中，一级密封圈因磨损失效时，由于空气密封圈的压差作用，冷却水不会存在泄漏现象，从而保证了生产设备的正常运行的优点。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体为一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构。

背景技术

目前国内各厂商在磁控溅射镀膜中使用的圆柱旋转磁控溅射阴极的端头密封、端头防护结构上存在一些缺陷。

循环冷却水密封的方式各异，但是都会存在密封失效的问题，漏水导致阴极短路故障。

在使用较低温循环冷却水时，由于没有针对的防护结构防止冷凝水的产生，所以对工况环境条件要求相对严格。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，具备在使用过程中，一级密封圈因磨损失效时，由于空气密封圈的压差作用，冷却水不会存在泄漏现象，从而保证了生产设备的正常运行的优点，解决了目前国内各厂商在磁控溅射镀膜中使用的圆柱旋转磁控溅射阴极的端头密封、端头防护结构上存在一些缺陷，循环冷却水密封的方式各异，但是都会存在密封失效的问题，漏水导致阴极短路故障，在使用较低温循环冷却水时，由于没有针对的防护结构防止冷凝水的产生，所以对工况环境条件要求相对严格的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种旋转圆柱磁控溅射阴极端头结构，包括减速电机、磁控溅射靶材、轭铁和防护外壳组件，所述防护外壳组件内插接有出水接头和进水接头，所述防护外壳组件的底端设有磁控溅射靶材，所述磁控溅射靶材内活动安装有轭铁，所述防护外壳组件的内部设有主轴旋转皮带轮，所述防护外壳组件的一侧固定有减速电机，所述防护外壳组件的外表面位于减速电机的下方安装有真空腔体，所述减速电机的输出端设有同步带，所述减速电机通过同步带与主轴旋转皮带轮传动连接，所述防护外壳组件的内部位于进水接头的一侧设有空气密封圈，所述空气密封圈上设有压缩空气连接管，所述防护外壳组件的内部位于空气密封圈的两侧分别设有二级密封圈和一级密封圈，所述防护外壳组件的内部转动安装有旋转主轴，且所述进水接头插接安装在旋转主轴内。

优选的，所述出水接头和进水接头通过磁控溅射靶材相互连通。

优选的，所述一级密封圈共设有两个，且两个一级密封圈堆叠安装在空气密封圈的上方，所述二级密封圈安装在空气密封圈的下方。

优选的，所述主轴旋转皮带轮的两侧表面均镶嵌安装有唇形密封圈。

优选的，所述防护外壳组件内与真空腔体相对应处安装有磁流体真空密封组件。

优选的，所述旋转主轴的底端与磁控溅射靶材相互连通，所述旋转主轴背离磁控溅射靶材的一端与出水接头相互连通。

优选的，所述旋转主轴的外侧表面位于旋转主轴与出水接头的连接处套接有主轴密封套。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：使用多个O型密封圈、骨架油封等动密封元件作为一级密封圈，在一级密封圈外侧增加一个或者多个密封元件，并与一级密封圈形成一个空腔，在此空腔中通入压缩空气，气体压力大于或等于冷却水压力，即可形成一个空气密封圈，在使用过程中，一级密封圈因磨损失效时，由于空气密封圈的压差作用，冷却水不会存在泄漏现象，从而保证了生产设备的正常运行，使用过程中检修密封元件是否完好，只需关闭压缩空气查看空气密封圈位置是否有水溢出，由此可判定是否需要对该结构进行维护保养，确保设备的正常运行。

附图说明