[实用新型]晶粒拾取装置有效

专利信息
申请号: 202022726826.X 申请日: 2020-11-23
公开(公告)号: CN213635948U 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 张春颖;薛兴涛;林正忠 申请(专利权)人: 盛合晶微半导体(江阴)有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 余明伟
地址: 214437 江苏省无锡市江阴市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 晶粒 拾取 装置
【权利要求书】:

1.一种晶粒拾取装置,其特征在于,包括:

载台,其包含用于放置晶粒的水平台面;

设置于所述载台中的顶推元件,其包含可在垂直于所述水平台面的方向上切换伸出和缩进状态的顶针;在所述顶针处于伸出状态时,所述顶针的顶部高于所述水平台面且可在多个高度位置处保持固定;

用于从所述载台上夹取所述晶粒的真空夹具,其设置于所述载台的上方。

2.根据权利要求1所述的晶粒拾取装置,其特征在于:所述顶针的顶部高于所述水平台面的高度至少可在第一高度和第二高度位置处保持固定;所述第二高度大于所述第一高度,且所述第一高度和所述第二高度的差值小于所述第一高度。

3.根据权利要求1所述的晶粒拾取装置,其特征在于:所述顶推元件还包括用于带动所述顶针在垂直于所述水平台面的方向上伸缩的传动单元。

4.根据权利要求2所述的晶粒拾取装置,其特征在于:所述顶推元件还包括用于控制所述顶针在所述第一高度和所述第二高度处保持固定的持续时间的计时单元。

5.根据权利要求1所述的晶粒拾取装置,其特征在于:所述晶粒的尺寸大于25×25mm2,所述顶推元件的上表面暴露于所述载台的水平台面表面,且所述顶推元件的上表面为直径大于45mm的圆形台面。

6.根据权利要求5所述的晶粒拾取装置,其特征在于:所述顶针为多个,多个所述顶针在所述圆形台面上排布为中心对称的阵列,所述阵列中最外围的顶针距离所述圆形台面的边缘的距离为所述圆形台面半径尺寸的三分之一。

7.根据权利要求6所述的晶粒拾取装置,其特征在于:所述顶针为五个,其中一个所述顶针位于所述圆形台面的中心,其余四个所述顶针与位于所述圆形台面的中心的所述顶针具有相同的距离。

8.根据权利要求5所述的晶粒拾取装置,其特征在于:所述真空夹具包括真空吸嘴和位于所述真空吸嘴周边的固定结构;所述固定结构的尺寸大于20×20mm2

9.根据权利要求1所述的晶粒拾取装置,其特征在于:还包括:

控制单元,其连接所述顶推元件和所述真空夹具,用于控制所述顶推元件顶推所述晶粒,控制所述真空夹具拾取所述晶粒,并判断所述真空夹具是否拾取到所述晶粒。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛合晶微半导体(江阴)有限公司,未经盛合晶微半导体(江阴)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022726826.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top