[实用新型]晶粒拾取装置

权利要求书

1.一种晶粒拾取装置，其特征在于，包括：

载台，其包含用于放置晶粒的水平台面；

设置于所述载台中的顶推元件，其包含可在垂直于所述水平台面的方向上切换伸出和缩进状态的顶针；在所述顶针处于伸出状态时，所述顶针的顶部高于所述水平台面且可在多个高度位置处保持固定；

用于从所述载台上夹取所述晶粒的真空夹具，其设置于所述载台的上方。

2.根据权利要求1所述的晶粒拾取装置，其特征在于：所述顶针的顶部高于所述水平台面的高度至少可在第一高度和第二高度位置处保持固定；所述第二高度大于所述第一高度，且所述第一高度和所述第二高度的差值小于所述第一高度。

3.根据权利要求1所述的晶粒拾取装置，其特征在于：所述顶推元件还包括用于带动所述顶针在垂直于所述水平台面的方向上伸缩的传动单元。

4.根据权利要求2所述的晶粒拾取装置，其特征在于：所述顶推元件还包括用于控制所述顶针在所述第一高度和所述第二高度处保持固定的持续时间的计时单元。

5.根据权利要求1所述的晶粒拾取装置，其特征在于：所述晶粒的尺寸大于25×25mm²，所述顶推元件的上表面暴露于所述载台的水平台面表面，且所述顶推元件的上表面为直径大于45mm的圆形台面。

6.根据权利要求5所述的晶粒拾取装置，其特征在于：所述顶针为多个，多个所述顶针在所述圆形台面上排布为中心对称的阵列，所述阵列中最外围的顶针距离所述圆形台面的边缘的距离为所述圆形台面半径尺寸的三分之一。

7.根据权利要求6所述的晶粒拾取装置，其特征在于：所述顶针为五个，其中一个所述顶针位于所述圆形台面的中心，其余四个所述顶针与位于所述圆形台面的中心的所述顶针具有相同的距离。

8.根据权利要求5所述的晶粒拾取装置，其特征在于：所述真空夹具包括真空吸嘴和位于所述真空吸嘴周边的固定结构；所述固定结构的尺寸大于20×20mm²。

9.根据权利要求1所述的晶粒拾取装置，其特征在于：还包括：

控制单元，其连接所述顶推元件和所述真空夹具，用于控制所述顶推元件顶推所述晶粒，控制所述真空夹具拾取所述晶粒，并判断所述真空夹具是否拾取到所述晶粒。