[实用新型]一种带坐标检测功能的数控离子束抛光机

权利要求书

1.一种带坐标检测功能的数控离子束抛光机，包括具有真空腔室(11)的机体(1)、安装在真空腔室(11)内的工件承台(2)、安装在真空腔室(11)内的驱动装置(3)以及安装在所述驱动装置(3)的驱动端的离子源(4)，其特征在于：所述驱动装置(3)的驱动端还安装有用于检测工件坐标的坐标测头(5)。

2.根据权利要求1所述的数控离子束抛光机，其特征在于：所述坐标测头(5)通过位置调节装置(6)以能在靠近所述工件承台(2)的第一位置和远离所述工件承台(2)的第二位置之间运动的方式安装在所述驱动装置(3)的驱动端。

3.根据权利要求2所述的数控离子束抛光机，其特征在于：所述坐标测头(5)在第一位置时位于所述离子源(4)靠近工件承台(2)的一侧，且坐标测头(5)靠近所述离子源(4)发出的离子束所在路径；所述坐标测头(5)在第二位置时位于所述离子源(4)远离工件承台(2)的一侧。

4.根据权利要求3所述的数控离子束抛光机，其特征在于：所述位置调节装置(6)包括移动座(62)和安装在所述驱动装置(3)的驱动端的底座(61)，所述移动座(62)以能在第三位置和第四位置之间移动的方式安装在底座(61)上，所述移动座(62)在第三位置时与工件承台(2)的间距小于所述移动座(62)在第四位置时与工件承台(2)的间距，所述底座(61)与移动座(62)之间设有用于驱使移动座(62)移动的移动驱动组件，所述移动座(62)上安装有一可转动的摆臂(63)以及用于驱动所述摆臂(63)在第一角度和第二角度之间摆动运动的摆动驱动组件，所述坐标测头(5)安装在所述摆臂(63)上，所述移动座(62)在第三位置、且摆臂(63)在第一角度时所述坐标测头(5)位于第一位置，所述移动座(62)在第四位置、且摆臂(63)在第二角度时所述坐标测头(5)位于第二位置。

5.根据权利要求4所述的数控离子束抛光机，其特征在于：所述摆动驱动组件包括第一丝杆(64)和套设于所述第一丝杆(64)上并与第一丝杆(64)螺纹配合的第一驱动螺母(65)，所述第一丝杆(64)绕平行于移动座(62)移动方向的轴线转动安装在移动座(62)上，所述摆臂(63)通过转轴(631)转动安装在移动座(62)上且所述转轴(631)与所述第一丝杆(64)相连，所述第一驱动螺母(65)沿第一丝杆(64)的轴向滑设安装在移动座(62)上并能在移动座(62)上的第五位置和第六位置之间滑动，所述移动座(62)与第一驱动螺母(65)之间安装有弹性件(68)，所述底座(61)上设有阻挡件(67)，在移动座(62)由第四位置移动至第三位置时所述阻挡件(67)阻挡第一驱动螺母(65)并使第一驱动螺母(65)由第六位置滑动至第五位置，且第一驱动螺母(65)由第六位置滑动至第五位置时迫使弹性件(68)弹性蓄能，在移动座(62)由第三位置移动至第四位置的过程中所述弹性件(68)弹性释放并迫使第一驱动螺母(65)由第五位置滑动至第六位置，所述第一驱动螺母(65) 在第六位置时驱使第一丝杆(64)转动至使坐标测头(5)处在第二角度的角度，所述第一驱动螺母(65)在第五位置时驱使第一丝杆(64)转动至使坐标测头(5)处在第一角度的角度。

6.根据权利要求4所述的数控离子束抛光机，其特征在于：所述移动驱动组件包括第二丝杆(69)、安装在移动座(62)上的第二驱动螺母和安装在底座(61)上的旋转驱动件(610)，所述第二丝杆(69)与所述旋转驱动件(610)的驱动端相连，所述第二驱动螺母套设于所述第二丝杆(69)上并与第二丝杆(69)螺纹配合。

7.根据权利要求4所述的数控离子束抛光机，其特征在于：所述移动座(62)通过导轨组件(611)滑设安装在底座(61)上。

8.根据权利要求3所述的数控离子束抛光机，其特征在于：坐标测头(5)在所述离子源(4)发出的离子束所在路径上。