[实用新型]一种带坐标检测功能的数控离子束抛光机

说明书

本实用新型公开了一种带坐标检测功能的数控离子束抛光机，包括具有真空腔室的机体、安装在真空腔室内的工件承台、安装在真空腔室内的驱动装置以及安装在驱动装置的驱动端的离子源，驱动装置的驱动端还安装有用于检测工件坐标的坐标测头。该数控离子束抛光机便于检测获得并建立工件所处的初始坐标作为抛光加工的基准参照，从而可大大降低人工劳动强度、提高工件安装效率和整体加工效率，并利于提高抛光加工精度。

技术领域

本实用新型涉及抛光设备技术领域，具体涉及一种带坐标检测功能的数控离子束抛光机。

背景技术

数控离子束抛光机是对工件表面进行抛光加工中常用的加工设备。现有数控离子束抛光机在对工件进行抛光加工时，需要先将工件安装定位在工件承台上预设的坐标位置才能进行准确的抛光加工，目前做法都是人工手动调节工件以使其处于该预设坐标位置，在这过程中需要人工反复的对工件位置进行修正调整，存在人工劳动强度大、效率低的问题，且人工调整仍然存在误差，这也会影响后续抛光加工的精度和效率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术存在的不足，提供一种带坐标检测功能的数控离子束抛光机，以便于检测获得并建立工件所处的初始坐标作为抛光加工的基准参照，从而可大大降低人工劳动强度、提高工件安装效率和整体加工效率，并利于提高抛光加工精度。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种带坐标检测功能的数控离子束抛光机，包括具有真空腔室的机体、安装在真空腔室内的工件承台、安装在真空腔室内的驱动装置以及安装在所述驱动装置的驱动端的离子源，所述驱动装置的驱动端还安装有用于检测工件坐标的坐标测头。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述坐标测头通过位置调节装置以能在靠近所述工件承台的第一位置和远离所述工件承台的第二位置之间运动的方式安装在所述驱动装置的驱动端。

所述坐标测头在第一位置时位于所述离子源靠近工件承台的一侧，且坐标测头靠近所述离子源发出的离子束所在路径；所述坐标测头在第二位置时位于所述离子源远离工件承台的一侧。

所述位置调节装置包括移动座和安装在所述驱动装置的驱动端的底座，所述移动座以能在第三位置和第四位置之间移动的方式安装在底座上，所述移动座在第三位置时与工件承台的间距小于所述移动座在第四位置时与工件承台的间距，所述底座与移动座之间设有用于驱使移动座移动的移动驱动组件，所述移动座上安装有一可转动的摆臂以及用于驱动所述摆臂在第一角度和第二角度之间摆动运动的摆动驱动组件，所述坐标测头安装在所述摆臂上，所述移动座在第三位置、且摆臂在第一角度时所述坐标测头位于第一位置，所述移动座在第四位置、且摆臂在第二角度时所述坐标测头位于第二位置。

所述摆动驱动组件包括第一丝杆和套设于所述第一丝杆上并与第一丝杆螺纹配合的第一驱动螺母，所述第一丝杆绕平行于移动座移动方向的轴线转动安装在移动座上，所述摆臂通过转轴转动安装在移动座上且所述转轴与所述第一丝杆相连，所述第一驱动螺母沿第一丝杆的轴向滑设安装在移动座上并能在移动座上的第五位置和第六位置之间滑动，所述移动座与第一驱动螺母之间安装有弹性件，所述底座上设有阻挡件，在移动座由第四位置移动至第三位置时所述阻挡件阻挡第一驱动螺母并使第一驱动螺母由第六位置滑动至第五位置，且第一驱动螺母由第六位置滑动至第五位置时迫使弹性件弹性蓄能，在移动座由第三位置移动至第四位置的过程中所述弹性件弹性释放并迫使第一驱动螺母由第五位置滑动至第六位置，所述第一驱动螺母在第六位置时驱使第一丝杆转动至使坐标测头处在第二角度的角度，所述第一驱动螺母在第五位置时驱使第一丝杆转动至使坐标测头处在第一角度的角度。

所述移动驱动组件包括第二丝杆、安装在移动座上的第二驱动螺母和安装在底座上的旋转驱动件，所述第二丝杆与所述旋转驱动件的驱动端相连，所述第二驱动螺母套设于所述第二丝杆上并与第二丝杆螺纹配合。

所述移动座通过导轨组件滑设安装在底座上。