[实用新型]一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置

权利要求书

1.一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：包括：

硅烷喷淋槽（1），进行工件表面喷淋的装置；

过滤部件（2），过滤含有杂质溶液的装置；

待滤液管道（3），连通硅烷喷淋槽（1）底部和过滤部件（2）的管道；

滤液回流管道（4），连通过滤部件（2）和硅烷喷淋槽（1）内部硅烷管道的管道；

驱动部件，驱动溶液在硅烷喷淋槽（1）和过滤部件（2）之间循环的液流驱动装置。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述过滤部件（2）包括作为过滤容器的罐体（21）、将罐体（21）分隔为两个腔室的隔板（22）和设置在隔板（22）上连通罐体（21）内两个腔室并发挥过滤作用的过滤件（25），所述待滤液管道（3）和所述滤液回流管道（4）分别与所述罐体（21）内不同的腔体直接连通。

3.根据权利要求2所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述罐体（21）上开设有安装所述过滤件（25）的沉头安装孔（221）；

所述过滤件（25）包括插设在所述沉头安装孔（221）中的滤袋（251），所述安装孔内可拆卸固定有圆环装的压盖（26），所述滤袋（251）的边缘压合在所述压盖（26）与所述沉头安装孔（221）的沉头底之间。

4.根据权利要求3所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述罐体（21）上端设置有罐顶人孔（23），所述隔板（22）将罐体（21）分隔为上下两个腔室，所述待滤液管道（3）与罐体（21）的上侧腔室连通，所述滤液回流管道（4）与罐体（21）的下侧腔室连通。

5.根据权利要求4所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述过滤件（25）还包括安装在隔板（22）板上的沉头安装孔（221）中的防脱网孔筒（252），防脱网孔筒（252）为竖直设置的筒体，筒体的筒壁上贯通开设有多个滤液通孔，防脱网孔筒（252）的上端敞口设置且上端周侧同轴设置有凸环结构，防脱网孔筒（252）上的凸环结构与沉头安装孔（221）的沉头底抵接，所述滤袋（251）插设置在防脱网孔筒（252）中，所述滤袋（251）的底部与防脱网孔筒（252）的底部抵接。

6.根据权利要求5所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述压盖（26）的环体内侧固定有把手（261），所述把手（261）设置有至少两个且沿压盖（26）的周向呈圆形阵列均匀分布。

7.根据权利要求4-6任一项所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述驱动部件为串联安装在所述待滤液管道（3）上的隔膜泵（5），所述隔膜泵（5）两端的管道上安装有管道阀（6）。

8.根据权利要求4-6任一项所述的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，其特征在于：所述罐顶人孔（23）上安装有检测罐体（21）内压力表（24）。