[实用新型]一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置

说明书

本申请涉及一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，涉及表面处理设备领域，包括硅烷喷淋槽，进行工件表面喷淋的装置；过滤部件，过滤含有杂质溶液的装置；待滤液管道，连通硅烷喷淋槽底部和过滤部件的管道；滤液回流管道，连通过滤部件和硅烷喷淋槽内部硅烷管道的管道；驱动部件，驱动溶液在硅烷喷淋槽和过滤部件之间循环的液流驱动装置。对于相关技术中硅烷喷淋槽内沉积的溶液不便再利用的问题，本申请具有净化沉积的硅烷溶液、将净化后的溶液自动补入硅烷喷淋槽中的效果。

技术领域

本申请涉及表面处理设备领域，尤其是涉及一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置。

背景技术

表面处理是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。表面处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其他特种功能要求。对于金属铸件，我们比较常用的表面处理方法是，机械打磨，化学处理，表面热处理，喷涂表面，表面处理就是对工件表面进行清洁、清扫、去毛刺、去油污、去氧化皮等。

相关技术中，硅烷化处理是以有机硅烷水溶液为主要成分对金属或非金属材料进行表面处理的过程。常用的处理方式是在硅烷喷淋槽中向工件上喷淋硅烷，硅烷喷淋槽内部周侧设置有硅烷管道，硅烷管道上安装多个朝向槽体内部的喷嘴，管道内充入硅烷，硅烷再经喷嘴喷洒到槽体内的工件上。硅烷喷淋过程中，硅烷附着在工件表面，对金属材料的表面进行表面处理，同时硅烷在重力作用下汇集下落，积聚硅烷喷淋槽的底部。

针对上述中的相关技术，发明人认为硅烷喷淋槽中沉积的硅烷溶液容易混杂工件表面的杂质、沉积的硅烷溶液无法直接再利用的问题。

实用新型内容

为了方便硅烷喷淋槽中沉积硅烷溶液的再利用，本申请提供一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置,具有净化硅烷喷淋槽底部积聚的溶液、将净化后的溶液自动补充入硅烷喷淋槽的效果。

本申请提供的一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置采用如下的技术方案：

一种硅烷循环利用的硅烷喷淋装置，包括：

硅烷喷淋槽，进行工件表面喷淋的装置；

过滤部件，过滤含有杂质溶液的装置；

待滤液管道，连通硅烷喷淋槽底部和过滤部件的管道；

滤液回流管道，连通过滤部件和硅烷喷淋槽内部硅烷管道的管道；

驱动部件，驱动溶液在硅烷喷淋槽和过滤部件之间循环的液流驱动装置。

通过采用上述技术方案，在驱动部件的作用下，硅烷喷淋槽底部的沉积液依次经过待滤液管道、过滤部件、滤液回流管道，并再次进入硅烷喷淋槽内的硅烷管道中，进而能够自动进行沉积硅烷溶液的循环使用，减少了硅烷消耗，硅烷喷淋与沉积液过滤同时进行，提高工作效率，减少了人工劳动。

可选的，所述过滤部件包括作为过滤容器的罐体、将罐体分隔为两个腔室的隔板和设置在隔板上连通罐体内两个腔室并发挥过滤作用的过滤件，所述待滤液管道和所述滤液回流管道分别与所述罐体内不同的腔体直接连通。

通过采用上述技术方案，含有杂质的溶液穿过过滤件后得到无杂质或杂质含量降低的滤液，以便进行再次利用；由于两个腔室互通过过滤件相连通，即待滤液管道和滤液回流管道相连通，仅需一个泵类的驱动部件即可驱动整个系统的溶液循环。

可选的，所述罐体上开设有安装所述过滤件的沉头安装孔；

所述过滤件包括插设在所述沉头安装孔中的滤袋，所述安装孔内可拆卸固定有圆环装的压盖，所述滤袋的边缘压合在所述压盖与所述沉头安装孔的沉头底之间。

通过采用上述技术方案，在隔板上安装滤袋，通过滤袋对溶液进行过滤，滤袋通过压盖压紧固定在沉头安装孔中，滤袋能够方便的进行拆卸、更换。