[实用新型]一种用于半导体封装的异物质清除装置有效
申请号: | 202022764423.4 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN214262906U | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 周浩明;周开宇;陈青;糜佳冰;陈海洋 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | B08B1/04 | 分类号: | B08B1/04;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 封装 异物 清除 装置 | ||
1.一种用于半导体封装的异物质清除装置,其特征在于,包括外壳(8),所述外壳(8)左端设有空槽,所述空槽上方设有盖板(80),所述空槽前后两端分别对称设有电机(1)和辅助电机(2),所述辅助电机(2)上方设有时间记录仪(3),所述电机(1)和辅助电机(2)通过联轴器分别与转轴(6)的两端相连,所述转轴(6)上设有转动毛刷(4),所述转动毛刷(4)两端设有限位环(5),所述转轴(6)右侧设有转速测量仪(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装的异物质清除装置,其特征在于:所述转动毛刷(4)设有多个,多个所述转动毛刷(4)等距套设在转轴(6)上。
3.根据权利要求2所述的一种用于半导体封装的异物质清除装置,其特征在于:所述限位环(5)设有多组,每组所述限位环(5)由两个组成,两个所述限位环(5)分别位于转动毛刷(4)的两侧,每个所述限位环(5)由两个半圆环和四个螺栓组构成,所述两个半圆环通过四个螺栓组固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装的异物质清除装置,其特征在于:所述转速测量仪(7)为频闪转速测量仪。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装的异物质清除装置,其特征在于:所述时间记录仪(3)与辅助电机(2)并联。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体封装的异物质清除装置,其特征在于:所述电机(1)和辅助电机(2)的下方均设有高度垫块(81)。
7.根据权利要求6所述的一种用于半导体封装的异物质清除装置,其特征在于:所述盖板(80)设有多个,每个所述盖板(80)均位于电机(1)、辅助电机(2)和转动毛刷(4)相邻间的空隙处。
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