[实用新型]一种用于硅片扩散的石英舟有效
| 申请号： | 202022766854.4 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN214361841U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 朱亚文;马勤明 | 申请（专利权）人： | 重庆长捷电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14;C30B31/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 冉玲芬 |
| 地址： | 409100 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 扩散 石英 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于：包括舟架(10)、第一挡板(20)和第二挡板(30)，所述舟架(10)为长方形，所述第一挡板(20)和第二挡板(30)设于所述舟架(10)上，所述第一挡板(20)与所述舟架(10)的边缘部分形成第一挂鼻区(40)，所述第二挡板(30)与所述舟架(10)的边缘部分形成第二挂鼻区(50)，所述舟架(10)的两根横杆相对设有若干凹槽(11)，所述凹槽(11)用于放置硅片。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于：所述凹槽(11)与硅片的接触面为圆弧形结构。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于：所述舟架(10)的两根横杆上还设有第一透气孔(12)，所述第一透气孔(12)位于所述凹槽(11)的背面。
4.根据权利要求3所述的一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于：所述第一挡板(20)上设有若干第二透气孔(21)，所述第二挡板(30)上设有若干第三透气孔(31)。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于：所述舟架(10)、第一挡板(20)和第二挡板(30)一体成型。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆长捷电子有限公司，未经重庆长捷电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022766854.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种拉杆悬置侧方向性能测试装置
- 下一篇：一种散热系统及工程机械
