[实用新型]一种用于硅片扩散的石英舟

说明书

本实用新型提供了一种用于硅片扩散的石英舟，包括舟架、第一挡板和第二挡板，所述舟架为长方形，所述第一挡板和第二挡板设于所述舟架上，所述第一挡板与所述舟架的边缘部分形成第一挂鼻区，所述第二挡板与所述舟架的边缘部分形成第二挂鼻区，所述舟架的两根横杆相对设有若干凹槽，所述凹槽用于放置硅片，凹槽与硅片的接触面为圆弧形结构，所述舟架的两根横杆上还设有透气孔，透气孔位于所述凹槽的背面，所述第一挡板上设有若干透气孔，所述第三挡板上设有若干透气孔，所述舟架、第一挡板和第二挡板一体成型，本实用新型通过在舟架上设置用于固定硅片的凹槽，不仅可以防止硅片在取进取出的滑落，而且本实用新型整体结构简单，易于批量制造。

技术领域

本实用新型涉及硅片扩散技术领域，具体涉及一种用于硅片扩散的石英舟。

背景技术

硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气/氧气，在高温下分解后在硅片表面形成P-N结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道，扩散时，首先将硅片放在石英舟上，然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。目前的石英舟硅片直接放于平滑的舟架上，造成硅片摆放不稳，在取进取出的时候容易出现滑落。

实用新型内容

为了解决上述硅片摆放不稳，在取进取出的时候容易出现滑落的技术问题，本实用新型实施例提供了一种用于硅片扩散的石英舟，包括舟架、第一挡板和第二挡板，所述舟架为长方形，所述第一挡板和第二挡板设于所述舟架上，所述第一挡板与所述舟架的边缘部分形成第一挂鼻区，所述第二挡板与所述舟架的边缘部分形成第二挂鼻区，所述舟架的两根横杆相对设有若干凹槽，所述凹槽用于放置硅片。

进一步的，所述凹槽与硅片的接触面为圆弧形结构。

进一步的，所述舟架的两根横杆上还设有第一透气孔，所述第一透气孔位于所述凹槽的背面。

进一步的，所述第一挡板上设有若干第二透气孔，所述第二挡板上设有若干第三透气孔。

进一步的，所述舟架、第一挡板和第二挡板一体成型。

本实用新型的有益效果：

1)、本实用新型通过在舟架上设置用于固定硅片的凹槽，不仅可以防止硅片在取进取出的滑落，而且本实用新型整体结构简单，易于批量制造；

2)、本实用新型通过在舟架上增设透气孔，使硅片与舟架的接触位置也存在流动气流，从而使氮/氧气能充分分布硅片四周，达到良好的工艺效果，提高良率。

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型实施例中的一种用于硅片扩散的石英舟的结构示意图。

图2是图1中沿A-A的局部剖视图。

附图标记：10-舟架，11-凹槽，12-第一透气孔，20-第一挡板，21-第二透气孔，30-第二挡板，31-第二透气孔，40-第一挂鼻区，50-第二挂鼻区。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。