[实用新型]除液槽和清洗设备

权利要求书

1.一种除液槽，其特征在于，包括：

槽体(11)，所述槽体(11)能够容纳硅片载具(2)，所述槽体(11)底部设有排液管路(14)，用于将所述槽体(11)内的液体向外排出；

除液组件(13)，至少部分所述除液组件(13)设于所述槽体(11)内，用于去除置于所述槽体(11)内的所述硅片载具(2)底部的液体。

2.根据权利要求1所述的除液槽，其特征在于，

至少部分所述除液组件(13)通过负压作用使所述硅片载具(2)底部的液体下落。

3.根据权利要求2所述的除液槽，其特征在于，所述除液组件(13)包括：

支撑结构(134)，设于所述槽体(11)内，并与所述槽体(11)的侧壁(111)相连接，所述支撑结构(134)能够对所述硅片载具(2)形成支撑；

吸水棉(137)，设于所述支撑结构(134)上，用于吸收所述硅片载具(2)底部的液体；

负压驱动装置(139)，设于所述槽体(11)外，用于使所述槽体(11)内形成负压。

4.根据权利要求2所述的除液槽，其特征在于，所述除液组件(13)包括：

支撑结构(134)，设于所述槽体(11)内，并与所述槽体(11)的侧壁(111)相连接，所述支撑结构(134)能够对所述硅片载具(2)形成支撑；

集液盒(135)，连接于所述支撑结构(134)，所述集液盒(135)的顶部设有第一吸风口(1351)，所述第一吸风口(1351)沿所述硅片载具(2)的底部杆件(21)的延伸方向设置，所述第一吸风口(1351)两侧的顶板向下倾斜，以与所述硅片载具(2)的底部杆件(21)相适配，所述集液盒(135)的底部设有第二吸风口(1352)；

负压驱动装置(139)，所述负压驱动装置(139)的一端通过管路与所述第二吸风口(1352)连接，所述负压驱动装置(139)能够使所述集液盒(135) 产生负压，以收集所述硅片载具(2)底部的液体，所述负压驱动装置(139)的另一端通过管路与所述排液管路(14)连接。

5.根据权利要求3或4所述的除液槽，其特征在于，所述除液组件(13)还包括：

负压管路(133)，设于所述槽体(11)的下方，并通过所述槽体(11)的底壁(112)上的通孔(113)与所述槽体(11)相连通，所述负压管路(133)远离所述槽体(11)的一端与所述负压驱动装置(139)连接，所述负压管路(133)能够在所述负压驱动装置(139)的作用下产生负压，以使所述硅片载具(2)底部的液体加速下落。

6.根据权利要求1所述的除液槽，其特征在于，所述除液组件(13)包括：

支撑结构(134)，设于所述槽体(11)内，并与所述槽体(11)的侧壁(111)相连接，所述支撑结构(134)能够对所述硅片载具(2)形成支撑；

吸水棉(137)，设于所述支撑结构(134)上，用于吸收所述硅片载具(2)底部的液体。

7.根据权利要求3或6所述的除液槽，其特征在于，所述除液组件(13)还包括：

喷淋管路(138)，设于所述槽体(11)内，所述喷淋管路(138)与所述槽体(11)的侧壁(111)相连接，所述喷淋管路(138)上设有多个喷淋孔(1381)，用于向所述吸水棉(137)喷水，以使所述吸水棉(137)保持除液所需的湿度。

8.根据权利要求2至4中任一项或权利要求6所述的除液槽，其特征在于，

所述排液管路(14)中设有排液吸风口(141)，所述排液吸风口(141)通过管路连接至负压驱动装置(139)；

所述排液管路(14)中设有倒虹管段(142)，以利用所述倒虹管段(142)中的液体使所述排液管路(14)实现密封；

其中，所述排液吸风口(141)位于所述倒虹管段(142)与所述槽体(11)之间。