[实用新型]一种光刻机用水循环冷却结构

权利要求书

1.一种光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，包括进水管、出水管、冷却排和温度传感器，所述冷却排套设在所述进水管和出水管的一端，并与所述进水管和出水管连通；

所述冷却排包括外壳、风扇基座、管道基座和降温风扇，所述进水管与出水管的一端弯折后进入所述外壳，所述外壳上设有安装孔，所述温度传感器固定安装在所述安装孔上；所述风扇基座盖设在所述外壳上，使所述进水管与出水管限定在所述外壳和风扇基座之间；所述管道基座设置在所述外壳和风扇基座的一端，并分别与所述进水管与出水管连接；所述降温风扇固定安装在所述风扇基座上；

其中，所述降温风扇设有两组，两组所述降温风扇分别沿进水管与出水管的方向呈直线排列。

2.根据权利要求1所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述管道基座的底部设有第一开口，所述管道基座的一侧设有进水接口和出水接口，所述进水管贯穿所述第一开口并与所述进水接口连接，所述出水管贯穿所述第一开口并与所述出水接口连接。

3.根据权利要求2所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述第一开口的内壁上设有密封固定件。

4.根据权利要求1所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述风扇基座的顶部设有连接部，所述连接部通过螺丝与所述管道基座固定连接。

5.根据权利要求4所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述外壳的一侧相对设置有两个卡条，所述风扇基座的两侧设有分别与两个所述卡条相适配的卡槽，所述风扇基座通过所述卡条与卡槽卡接而与限定在所述外壳中。

6.根据权利要求5所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述卡条上设有第一螺丝孔，所述风扇基座上设有与所述第一螺丝孔相适配的第二螺丝孔。

7.根据权利要求2所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述管道基座上还设有与所述第一开口相对的第二开口，所述第二开口上盖设连接有顶板。

8.根据权利要求1所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，还包括连接侧板，所述连接侧板固定连接在所述管道基座的一侧。