[实用新型]一种光刻机用水循环冷却结构

说明书

本实用新型公开了一种光刻机用水循环冷却结构，包括进水管、出水管、冷却排和温度传感器；冷却排包括外壳、风扇基座、管道基座和降温风扇，进水管与出水管的一端弯折后进入所述外壳，外壳上设有安装孔，温度传感器固定安装在所述安装孔上；风扇基座盖设在外壳上，使进水管与出水管限定在外壳和风扇基座之间；管道基座设置在外壳和风扇基座的一端，并分别与进水管与出水管连接；降温风扇固定安装在风扇基座上；其中，降温风扇设有两组，两组降温风扇分别沿进水管与出水管的方向呈直线排列。本实用新型在冷却液进入冷却目标之前对冷却液进行降温处理，保证其在进入冷却目标时的温度为预设温度。

技术领域

本实用新型涉及冷却循环系统技术领域，具体为一种光刻机用水循环冷却结构。

背景技术

冷却循环系统一般利用出水管与进水管对冷却液进行输送，而在输送过程中，冷却液的温度会随着输送距离的增大而与预设温度的差值越来越大，导致冷却液在进入冷却目标时的温度达不到预期，影响冷却效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机用水循环冷却结构，在冷却液进入冷却目标之前对冷却液进行降温处理，保证其在进入冷却目标时的温度为预设温度。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种光刻机用水循环冷却结构，包括进水管、出水管、冷却排和温度传感器，所述冷却排套设在所述进水管和出水管的一端，并与所述进水管和出水管连通；

所述冷却排包括外壳、风扇基座、管道基座和降温风扇，所述进水管与出水管的一端弯折后进入所述外壳，所述外壳上设有安装孔，所述温度传感器固定安装在所述安装孔上；所述风扇基座盖设在所述外壳上，使所述进水管与出水管限定在所述外壳和风扇基座之间；所述管道基座设置在所述外壳和风扇基座的一端，并分别与所述进水管与出水管连接；所述降温风扇固定安装在所述风扇基座上；

其中，所述降温风扇设有两组，两组所述降温风扇分别沿进水管与出水管的方向呈直线排列。

在其中一个实施例中，所述管道基座的底部设有第一开口，所述管道基座的一侧设有进水接口和出水接口，所述进水管贯穿所述第一开口并与所述进水接口连接，所述出水管贯穿所述第一开口并与所述出水接口连接。

在其中一个实施例中，所述第一开口的内壁上设有密封固定件。

在其中一个实施例中，所述风扇基座的顶部设有连接部，所述连接部通过螺丝与所述管道基座固定连接。

在其中一个实施例中，所述外壳的一侧相对设置有两个卡条，所述风扇基座的两侧设有分别与两个所述卡条相适配的卡槽，所述风扇基座通过所述卡条与卡槽卡接而与限定在所述外壳中。

在其中一个实施例中，所述卡条上设有第一螺丝孔，所述风扇基座上设有与所述第一螺丝孔相适配的第二螺丝孔。

在其中一个实施例中，所述管道基座上还设有与所述第一开口相对的第二开口，所述第二开口上盖设连接有顶板。

在其中一个实施例中，还包括连接侧板，所述连接侧板固定连接在所述管道基座的一侧。

本实用新型光刻机用水循环冷却结构中，进水管与出水管的端部均内置在冷却排中，通过降温风扇对冷却排进行降温，温度传感器监控冷却排中的温度，使冷却排中的温度控制在一个阈值范围内，从而实现冷却排对进水管中冷却液的降温，以保证冷却液进入冷却目标时的温度为预设温度。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的立体装配图；