[实用新型]用于PECVD设备的承载支架及腔体

权利要求书

1.用于PECVD设备的承载支架，包括主体支架（3），其特征在于：主体支架（3）下方设置有多个钩形抓手单元（6），所述钩形抓手单元（6）包括与主体支架（3）相连的连接杆（12），连接杆（12）两侧均设置有钩手（9）；主体支架（3）两侧设置有导轮（1）。

2.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的承载支架，其特征在于：所述钩手（9）上表面为倾斜面。

3.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的承载支架，其特征在于：所述钩形抓手单元（6）的四角处设置有限位卡点（11）。

4.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的承载支架，其特征在于：所述连接杆（12）上设置有连接孔（7），连接杆（12）通过连接孔（7）和顶丝（8）与承载支架相连。

5.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的承载支架，其特征在于：所述主体支架（3）四周设置有外框龙骨（2），所述导轮（1）设置于外框龙骨（2）的两侧；外框龙骨（2）之间设置有中心龙骨（5），中心龙骨（5）两侧设置有副龙骨（4）。

6.根据权利要求5所述的用于PECVD设备的承载支架，其特征在于：所述外框龙骨（2）、中心龙骨（5）和副龙骨（4）均为镂空结构。

7.一种腔体，其与权利要求1～6任一种用于PECVD设备的承载支架配合，其特征在于：包括腔体（16）内的衬底支架（15），衬底支架（15）与相对的两钩手（9）的间隙对应；所述腔体（16）内设置有相对竖直运动机构，所述相对竖直运动机构与主体支架（3）和衬底支架（15）相配合。

8.根据权利要求7所述的腔体，其特征在于：所述相对竖直运动机构包括设置于腔体（16）内的顶升气缸（14），顶升气缸（14）的伸缩杆与一顶升导轨（13）相连，顶升导轨（13）与主体支架（3）两侧的导轮（1）相配合。