[实用新型]一种清除腔室碎片的装置

权利要求书

1.一种清除腔室碎片的装置，包括抓手装置（11）、静电发生装置和碎片清除板（2），其特征在于：所述碎片清除板（2）与静电发生装置相配合，所述抓手装置（11）与碎片清除板（2）相配合。

2.根据权利要求1所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述碎片清除板（2）包括绝缘边框（6），绝缘边框（6）下方设置有中间电极层（4），中间电极层（4）下方设置有下绝缘层（3），中间电极层（4）上方设置有上电极层。

3.根据权利要求2所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述碎片清除板（2）的下表面覆盖一层防划伤层。

4.根据权利要求1所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述静电发生装置包括绝缘箱体（9），绝缘箱体（9）内设置有与静电发生器（10）连接的静电棒（8），绝缘箱体（9）内相对于静电棒（8）设置有绝缘架；绝缘架上相应于碎片清除板（2）的边缘设置有抓手避让结构。

5.根据权利要求4所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述绝缘箱体（9）内排布设置有多个静电棒（8），多个静电棒（8）的上方和下方均设置有绝缘架。

6.根据权利要求1所述的一种清除腔室碎片的装置，其特征在于：所述抓手装置（11）包括与驱动机构相连的抓手体，抓手体底部相应于碎片清除板（2）的边缘设置有钩边（7）。