[实用新型]一种清除腔室碎片的装置

说明书

一种清除腔室碎片的装置及PECVD设备的碎片清除方法涉及光伏设备制造技术领域，尤其涉及光伏用的板式PECVD设备和腔室碎片清除装置及碎片清除方法。本实用新型包括抓手装置、静电发生装置和碎片清除板，其特征在于：所述碎片清除板与静电发生装置相配合，所述抓手装置与碎片清除板相配合。

技术领域

本实用新型涉及光伏设备制造技术领域，尤其涉及光伏用的板式PECVD设备和腔室碎片清除装置。

背景技术

真空设备工作状态是高温真空状态，腔室内在生产过程中会产生碎片、碎屑，高温真空状态下，清除比较困难，目前常用的清除碎片的办法是设备停机，降低温度至常温后，腔室压力破真空到大气压后，打开腔体，人工清理碎片。

这种方法存在以下缺点：1、不能做到及时清除，存在的碎片可能会对工艺和设备产生不良影响。

2、清除碎片时设备停复机，腔体升温和降温浪费大量时间，造成设备的利用率低下。

3、频繁升降温，真空泵频繁停止启动，都会造成设备相关零部件的使用寿命缩短，带来宕机危险。

4、针对于异质结电池的工艺敏感性，频繁打开工艺腔室会带来工艺不稳定、造成污染等影响。

另外，相比于有载板方案，目前无载板方案的PECVD设备，发生碎片时，碎片容易掉落到腔室的下电极底座位置，会对接下来的工艺造成影响，需要及时清理碎片。但密闭真空高温状态下，清除碎片存在困难。

发明内容

本实用新型就是针对上述问题，提供的一种简单快捷，低成本的清除腔室碎片的装置。

为实现本实用新型的上述目的，本实用新型采用如下技术方案，本实用新型包括抓手装置、静电发生装置和碎片清除板，其特征在于：所述碎片清除板与静电发生装置相配合，所述抓手装置与碎片清除板相配合。

作为本实用新型的一种优选方案，所述碎片清除板包括绝缘边框，绝缘边框下方设置有中间电极层，中间电极层下方设置有下绝缘层，中间电极层上方设置有上电极层。

进一步的，所述下电极层表面设置有防划伤层。

作为本实用新型的另一种优选方案，所述静电发生装置包括绝缘箱体，绝缘箱体内设置有与静电发生器连接的静电棒，绝缘箱体内相对于静电棒设置有绝缘架；绝缘架上相应于碎片清除板的边缘设置有抓手避让结构。

进一步的，所述绝缘箱体内排布设置有多个静电棒，多个静电棒的上方和下方均设置有绝缘架。

作为本实用新型的第三种优选方案，所述抓手装置包括与驱动机构相连的抓手体，抓手体底部相应于碎片清除板的边缘设置有钩边。

本实用新型的有益效果：不同于常规的静电吸盘用于稳定地吸住晶圆，本实用新型的碎片清除板用于吸除碎腔室内的碎硅片。同时简单超薄的结构使制造成本只有常规静电吸盘的百分之一到千分之一，可以大规模使用。使用时不需要连接静电发生器，充电时非接触模式，也使本实用新型的应用简单方便。

通过对一系列静电棒的摆放，可以一次对多块碎片清除板进行充电，极大节省所需静电发生器的数量，PECVD设备可以一次抓取多片碎片清除板进行对整个腔体的下电极进行碎片清除。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是抓手装置抓取碎片清除板的结构示意图。

图3是静电发生装置的结构示意图。

图4是一次对多个碎片清除板进行充电的静电发生装置的结构示意图。

附图中1为碎片、2为碎片清除板、3为下绝缘层、4为中间电极层、5为上绝缘层、6为绝缘边框、7为钩边、8为静电棒、9为绝缘箱体、10为静电发生器、11为抓手装置。