[实用新型]一种硅晶片设备专用高精度轴套

权利要求书

1.一种硅晶片设备专用高精度轴套，其特征在于：包括轴套本体、底座和轴瓦，所述轴套本体与所述底座可拆卸式固定连接，所述轴套本体包括套接段，所述套接段包括若干限位片，所述限位片用于对轴进行限位，所述轴瓦套设于所述限位片的外部，所述轴瓦包括第一瓦片和第二瓦片和调节杆，所述第一瓦片和第二瓦片相对设置，所述第一瓦片上设有贯穿所述第一瓦片的第一螺纹孔，所述第二瓦片上设有贯穿所述第二瓦片的第二螺纹孔，所述调节杆与所述第一螺纹孔、所述第二螺纹孔螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶片设备专用高精度轴套，其特征在于：若干所述限位片沿所述轴套本体的轴线周向间隔均匀设置。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶片设备专用高精度轴套，其特征在于：所述轴套本体还包括中空的光杆段，所述光杆段的一端与所述套接段固定连接，所述光杆段的另一端设有连接轴，所述底座上开设有与所述连接轴适配的连接孔。

4.根据权利要求3所述的一种硅晶片设备专用高精度轴套，其特征在于：所述光杆段与所述套接段的连接处为内凹的弧形面。

5.根据权利要求4所述的一种硅晶片设备专用高精度轴套，其特征在于：还包括修正片、垫片和螺钉，所述修正片位于所述底座远离所述光杆段的一端，所述修正片、所述底座通过所述螺钉和垫片固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种硅晶片设备专用高精度轴套，其特征在于：所述光杆段的两侧设有注油孔。

7.根据权利要求3所述的一种硅晶片设备专用高精度轴套，其特征在于：连接轴与所述连接孔的截面的形状均为割圆。

8.根据权利要求7所述的一种硅晶片设备专用高精度轴套，其特征在于：所述连接孔包括弧形段、直线段和弧形的过渡段，所述弧形段与所述直线段之间通过所述过渡段相连。

9.根据权利要求1所述的一种硅晶片设备专用高精度轴套，其特征在于：所述调节杆包括端帽和螺纹段，所述端帽与所述螺纹段固定连接，所述端帽远离所述螺纹段的一端设有内凹的沉头孔。