[实用新型]一种硅晶片设备专用高精度轴套

说明书

本实用新型公开了一种硅晶片设备专用高精度轴套，包括轴套本体、底座和轴瓦，轴套本体与底座可拆卸式固定连接，轴套本体包括套接段，套接段包括若干限位片，限位片用于对轴进行限位，轴瓦套设于限位片的外部，轴瓦包括第一瓦片和第二瓦片和调节杆，第一瓦片和第二瓦片相对设置，第一瓦片上设有贯穿第一瓦片的第一螺纹孔，第二瓦片上设有贯穿第二瓦片的第二螺纹孔，调节杆与第一螺纹孔、第二螺纹孔螺纹连接。采用这种结构利用限位片对转轴进行限位，具有高定位精度的同时避免了现有技术中圆筒状的轴套容易胀裂的技术问题，另外通过调节杆能够调节限位片与转轴之间的松紧程度。

技术领域

本实用新型涉及轴套技术领域，具体涉及一种硅晶片设备专用高精度轴套。

背景技术

轴套是套在转轴上的筒状机械零件，与轴采用间隙配合，对轴进行限位，硅晶片生产设备对加工精度要求较高，普通的轴套无法满足其加工精度要求。

申请号为CN200820232481.9的专利文件公开了钢基复合铜合金双金属轴瓦、轴套，包括钢基轴瓦、轴套体，轴套体的工作面通过金属分子链渗透层与铜合金层高温高压复合构成一个整体，通过金属分子链渗透层形式将不同材质的钢基轴瓦、轴套体与铜合金层复合为了一个整体，钢基轴瓦、轴套体具有价格低廉，易于加工的特点，既能够保障钢基轴瓦、轴套体的强度等各项机械技术指标，又能够大幅度降低钢基轴瓦、轴套体制造成本。但是采用这种结构对转轴的定位精度不高，无法调节轴套的松紧程度从而实现轴套与转轴之间松紧程度的调节。

实用新型内容

为了解决以上技术问题，本实用新型的目的是提供一种硅晶片设备专用高精度轴套，包括轴套本体、底座和轴瓦，所述轴套本体与所述底座可拆卸式固定连接，所述轴套本体包括套接段，所述套接段包括若干限位片，所述限位片用于对轴进行限位，所述轴瓦套设于所述限位片的外部，所述轴瓦包括第一瓦片和第二瓦片和调节杆，所述第一瓦片和第二瓦片相对设置，所述第一瓦片上设有贯穿所述第一瓦片的第一螺纹孔，所述第二瓦片上设有贯穿所述第二瓦片的第二螺纹孔，所述调节杆与所述第一螺纹孔、所述第二螺纹孔螺纹连接。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：若干所述限位片沿所述轴套本体的轴线周向间隔均匀设置。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述轴套本体还包括中空的光杆段，所述光杆段的一端与所述套接段固定连接，所述光杆段的另一端设有连接轴，所述底座上开设有与所述连接轴适配的连接孔。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述光杆段与所述套接段的连接处为内凹的弧形面。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：还包括修正片、垫片和螺钉，所述修正片位于所述底座远离所述光杆段的一端，所述修正片、所述底座通过所述螺钉和垫片固定连接。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述光杆段的两侧设有注油孔。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：接轴与所述连接孔的截面的形状均为割圆。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述连接孔包括弧形段、直线段和弧形的过渡段，所述弧形段与所述直线段之间通过所述过渡段相连。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述调节杆包括端帽和螺纹段，所述端帽与所述螺纹段固定连接，所述端帽远离所述螺纹段的一端设有内凹的沉头孔。

本实用新型相比现有技术凸出且有益的技术效果是：

1、设有若干限位片，利用限位片对轴进行定位，避免了现有技术中筒状的轴套容易胀裂的技术问题，同时定位精度高。

2、设有轴瓦，实现了对限位片的调节，从而可以实现限位片与转轴之间松紧的调节。