[实用新型]一种平边晶圆的主传送手臂有效
| 申请号： | 202022811446.6 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN213703464U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 唐正隆;王向东;王正辉;吴星华 | 申请（专利权）人： | 合肥开悦半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00 |
| 代理公司： | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人： | 王振佳 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平边晶圆 传送 手臂 | ||
【权利要求书】：
1.一种平边晶圆的主传送手臂，其特征在于：包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，其后端的固定部上对称设置有减重槽，所述夹持臂内部弧形结构的两端和中部均设有连接夹持头的卡槽，所述夹持头为一体的弧形结构，其内侧的中部设有水平置物部，所述置物部的等腰梯形结构两腰为向内凹陷的弧形结构；
所述夹持头的内侧设有向内凹陷的弧形凹槽，所述凹槽中部通过导向槽与所述置物部连接，所述凹槽外侧切线的竖直夹角小于所述导向槽外侧切线的竖直夹角。
2.根据权利要求1所述的一种平边晶圆的主传送手臂，其特征在于：所述减重槽包括对称设置依次分布的第一减重槽、第二减重槽和第三减重槽，所述第一减重槽、所述第二减重槽为对称设置的2个通孔，所述第三减重槽为对称结构的1个通孔。
3.根据权利要求1所述的一种平边晶圆的主传送手臂，其特征在于：所述夹持头通过螺钉连接在所述卡槽内。
4.根据权利要求1所述的一种平边晶圆的主传送手臂，其特征在于：所述本体的末端设有固定螺孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥开悦半导体科技有限公司，未经合肥开悦半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022811446.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于自动检测人体行为的视频监控设备
- 下一篇：一种超小开启力的Y型止回阀
