[实用新型]一种平边晶圆的主传送手臂

说明书

本实用新型公开了一种平边晶圆的主传送手臂，包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，其后端的固定部上对称设置有减重槽，所述夹持臂内部弧形结构的两端和中部均设有连接夹持头的卡槽，所述夹持头为一体的弧形结构，其内侧的中部设有水平置物部，所述置物部的等腰梯形结构两腰为向内凹陷的弧形结构；所述夹持头的内侧设有向内凹陷的弧形凹槽，所述凹槽中部通过导向槽与所述置物部连接，所述凹槽外侧切线的竖直夹角小于导向槽外侧切线的竖直夹角。本实用新型采用上述结构的一种平边晶圆的主传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。

技术领域

本实用新型涉及晶圆传送手臂技术领域，特别是涉及一种平边晶圆的主传送手臂。

背景技术

在现有的加工晶圆自动化设备中，最常用机械手臂作为取放晶圆的机构，此种机械手臂通常被制成薄型平板状的手臂，并在手臂表面设有供空气流通的气槽，当手臂接触到晶圆时，利用外在的真空源将手臂气槽中的空气抽除，以形成真空状态来达到吸取晶圆的目的。

现有技术中，6寸以下晶圆在传输过程中的定位通过单平边或双平边作为晶圆的定位边，从而标明晶体结构的晶向和导电类型，而6寸以下晶圆也通过不同类型定位边的机械手臂来进行运输，针对单平边与双平边需要专门的机械手臂进行传送，功能单一。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种平边晶圆的主传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种平边晶圆的主传送手臂，包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，其后端的固定部上对称设置有减重槽，所述夹持臂内部弧形结构的两端和中部均设有连接夹持头的卡槽，所述夹持头为一体的弧形结构，其内侧的中部设有水平置物部，所述置物部的等腰梯形结构两腰为向内凹陷的弧形结构；

所述夹持头的内侧设有向内凹陷的弧形凹槽，所述凹槽中部通过导向槽与所述置物部连接，所述凹槽外侧切线的竖直夹角小于所述导向槽外侧切线的竖直夹角。

优选的，所述减重槽包括对称设置依次分布的第一减重槽、第二减重槽和第三减重槽，所述第一减重槽、所述第二减重槽为对称设置的2个通孔，所述第三减重槽为对称结构的1个通孔。

优选的，所述夹持头通过螺钉连接在所述卡槽内。

优选的，所述本体的末端设有固定螺孔。

因此，本实用新型采用上述结构的一种平边晶圆的主传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本实用新型一种平边晶圆的主传送手臂实施例的示意图；

图2是本实用新型一种平边晶圆的主传送手臂中夹持头实施例的示意图；

图3是本实用新型一种平边晶圆的主传送手臂中导向槽的截面图。

附图标记

1、本体；2、夹持臂；3、减重槽；4、第一减重槽；5、第二减重槽；6、第三减重槽；7、卡槽；8、夹持头；9、置物部；10、凹槽；11、导向槽。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。