[实用新型]一种可加热的离子筛网装置有效
申请号: | 202022813065.1 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN213242487U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 张志强;杨平;王振 | 申请(专利权)人: | 上海稷以科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01L21/67 |
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地址: | 200240 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 加热 离子 筛网 装置 | ||
1.一种可加热的离子筛网装置,包括加热块(1)、导热块(2)和离子筛网(3),离子筛网(3)中部分布有若干筛网开孔(4),其特征在于,所述加热块(1)通过导热块(2)与离子筛网(3)连接,加热块(1)内部镶嵌有加热体(6),加热体(6)连接温度控制器(7)。
2.根据权利要求1所述的可加热的离子筛网装置,其特征在于,所述加热块(1)呈环状结构。
3.根据权利要求1所述的可加热的离子筛网装置,其特征在于,所述加热体(6)为电加热棒或电加热管构成。
4.根据权利要求1所述的可加热的离子筛网装置,其特征在于,所述温度控制器(7)连接电源,电源的工作电压是交流220V。
5.根据权利要求1所述的可加热的离子筛网装置,其特征在于,所述温度控制器(7)与加热块(1)之间还连接有用于传递温度反馈值的温度反馈电路(8)。
6.根据权利要求1-5任一所述的可加热的离子筛网装置,其特征在于,所述导热块(2)位于加热块(1)和离子筛网(3)之间,加热块(1)和离子筛网(3)之间由导热块(2)连接,离子筛网(3)与导热块(2)为可拆卸连接。
7.根据权利要求1-5任一所述的可加热的离子筛网装置,其特征在于,所述导热块(2)嵌入在离子筛网(3)内,导热块(2)和离子筛网(3)均位于加热块(1)内,导热块(2)和离子筛网(3)与加热块(1)为可拆卸连接。
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