[实用新型]一种可加热的离子筛网装置

说明书

本实用新型公开了一种可加热的离子筛网装置，属于晶圆设备技术领域，解决了离子筛网的热胀冷缩而开裂的问题，其技术要点是：包括加热块、导热块和离子筛网，离子筛网中部分布有若干筛网开孔，所述加热块通过导热块与离子筛网连接，加热块内部镶嵌有加热体，加热体连接温度控制器；可根据工艺状态的不同来调整、节对离子筛网的加热状态，确保离子筛网表面的温度在一定范围内波动，可有效的降低离子筛网表面聚合物开裂而对腔体的污染，降低了颗粒对工艺腔体的污染，提高了生产工艺的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及晶圆设备技术领域，尤其是涉及等离子体灰化设备的工艺稳定性，具体是涉及一种可加热的离子筛网装置。

背景技术

在晶圆制造的工艺中，等离子体灰化设备是整个生产工艺中不可或缺的设备，随着制造工艺要求的不断提高，对等离子体灰化工艺过程的稳定性要求越来越高。离子筛网（gas baffle）作为等离子设备的重要部件，对等离子体中带电离子的过滤，降低带电离子对晶圆表面的损伤具有重要的作用，同时还可以通过优化离子筛网开孔的分布来改善去胶速率的均匀性。

但对于传统的离子筛网其表面的温度是无法温度控制的，这样离子筛网表面温度会随着工艺运行状态的不同来发生变化，当工艺运行时等离子体会对离子筛网表面有一定的加热效应；但工艺运行结束后，离子筛网的温度就会有所下降，这样就会造成离子筛网表面的温度会随着工艺状态的不断变化而出现热胀冷缩。

在正常情况下，对于新的或刚更换的离子筛网（如图1所示），在等离子灰化设备稳定运行过程中，会在离子筛网表面形成稳定致密的聚合物（polymer）层（如图2所示），随着离子筛网表面聚合物厚度不断的增加，就会伴随着离子筛网的热胀冷缩而开裂（如图3所示），开裂的聚合物将会形成颗粒（particles）落在腔体内部，对腔体内环境造成一定的污染，进而影响加工产品的良率。

针对现有等离子灰化设备采用的离子筛网，其表面覆盖的聚合物不可避免会随着离子筛网的热胀冷缩而开裂，进而对工艺腔体环境造成一定的污染，影响产品的良率和工艺稳定性的问题。如何控制离子筛网的热胀冷缩，对于降低工艺腔体颗粒和改善工艺的稳定性是至关重要的。

因此，需要提供一种可加热的离子筛网装置，旨在解决上述问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型实施例的目的在于提供一种可加热的离子筛网装置，以解决上述背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种可加热的离子筛网装置，包括加热块、导热块和离子筛网，离子筛网中部分布有若干筛网开孔，所述加热块通过导热块与离子筛网连接，加热块内部镶嵌有加热体，加热体连接温度控制器。

作为本实用新型进一步的方案，所述加热块呈环状结构。

作为本实用新型进一步的方案，所述加热体为电加热棒或电加热管构成。

作为本实用新型进一步的方案，所述温度控制器连接电源，电源的工作电压是交流220V。

作为本实用新型进一步的方案，所述温度控制器与加热块之间还连接有用于传递温度反馈值的温度反馈电路。

作为本实用新型进一步的方案，所述导热块位于加热块和离子筛网之间，加热块和离子筛网之间由导热块连接，离子筛网与导热块为可拆卸连接。

作为本实用新型进一步的方案，所述导热块嵌入在离子筛网内，导热块和离子筛网均位于加热块内，导热块和离子筛网与加热块为可拆卸连接。

综上所述，本实用新型实施例与现有技术相比具有以下有益效果：