[实用新型]一种双层主动降温石英管结构及反应室有效
申请号: | 202022814482.8 | 申请日: | 2020-11-27 |
公开(公告)号: | CN213716922U | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 赵志然;朱辉;张春成;龙辉;吴志明 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;C23C16/44;C23C16/50 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 戴玲 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双层 主动 降温 石英管 结构 反应 | ||
1.一种双层主动降温石英管结构,其特征在于:包括外石英管(1)和内石英管(2),所述内石英管(2)套于外石英管(1)内,所述外石英管(1)一端开口另一端封闭,所述内石英管(2)一端开口另一端封闭,所述外石英管(1)与内石英管(2)之间的环形间隙形成冷却腔(3),所述冷却腔(3)通过多个隔板(4)分隔成多个冷却腔分区(31),所述隔板(4)与外石英管(1)的轴线平行,每个冷却腔分区(31)的一端设有进液口(5),另一端设有出液口。
2.根据权利要求1所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:所述外石英管(1)和内石英管(2)封闭的一端为半球体,各冷却腔分区(31)的出液口在半球体的顶点处汇集成一个总出液口(6)。
3.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:所述隔板(4)为石英板。
4.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:所述进液口(5)设于外石英管(1)的周向面上。
5.根据权利要求4所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:所述冷却腔(3)在外石英管(1)与内石英管(2)的开口端通过封口法兰(32)封闭。
6.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:多个隔板(4)在内石英管(2)的圆周方向均匀布置。
7.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:多个隔板(4)在内石英管(2)的圆周方向不均匀布置。
8.一种反应室,包括保温层(7)、加热炉丝(8)和炉门(9),其特征在于:还包括权利要求1至7任意一项所述的双层主动降温石英管结构,所述加热炉丝(8)绕在外石英管(1)外,所述保温层(7)套在加热炉丝(8)外,所述炉门(9)用于密封外石英管(1)和内石英管(2)开口的一端。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的