[实用新型]一种双层主动降温石英管结构及反应室有效

专利信息
申请号: 202022814482.8 申请日: 2020-11-27
公开(公告)号: CN213716922U 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 赵志然;朱辉;张春成;龙辉;吴志明 申请(专利权)人: 湖南红太阳光电科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67;C23C16/44;C23C16/50
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 戴玲
地址: 410205 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 双层 主动 降温 石英管 结构 反应
【权利要求书】:

1.一种双层主动降温石英管结构,其特征在于:包括外石英管(1)和内石英管(2),所述内石英管(2)套于外石英管(1)内,所述外石英管(1)一端开口另一端封闭,所述内石英管(2)一端开口另一端封闭,所述外石英管(1)与内石英管(2)之间的环形间隙形成冷却腔(3),所述冷却腔(3)通过多个隔板(4)分隔成多个冷却腔分区(31),所述隔板(4)与外石英管(1)的轴线平行,每个冷却腔分区(31)的一端设有进液口(5),另一端设有出液口。

2.根据权利要求1所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:所述外石英管(1)和内石英管(2)封闭的一端为半球体,各冷却腔分区(31)的出液口在半球体的顶点处汇集成一个总出液口(6)。

3.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:所述隔板(4)为石英板。

4.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:所述进液口(5)设于外石英管(1)的周向面上。

5.根据权利要求4所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:所述冷却腔(3)在外石英管(1)与内石英管(2)的开口端通过封口法兰(32)封闭。

6.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:多个隔板(4)在内石英管(2)的圆周方向均匀布置。

7.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构,其特征在于:多个隔板(4)在内石英管(2)的圆周方向不均匀布置。

8.一种反应室,包括保温层(7)、加热炉丝(8)和炉门(9),其特征在于:还包括权利要求1至7任意一项所述的双层主动降温石英管结构,所述加热炉丝(8)绕在外石英管(1)外,所述保温层(7)套在加热炉丝(8)外,所述炉门(9)用于密封外石英管(1)和内石英管(2)开口的一端。

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