[实用新型]一种双层主动降温石英管结构及反应室

权利要求书

1.一种双层主动降温石英管结构，其特征在于：包括外石英管(1)和内石英管(2)，所述内石英管(2)套于外石英管(1)内，所述外石英管(1)一端开口另一端封闭，所述内石英管(2)一端开口另一端封闭，所述外石英管(1)与内石英管(2)之间的环形间隙形成冷却腔(3)，所述冷却腔(3)通过多个隔板(4)分隔成多个冷却腔分区(31)，所述隔板(4)与外石英管(1)的轴线平行，每个冷却腔分区(31)的一端设有进液口(5)，另一端设有出液口。

2.根据权利要求1所述的双层主动降温石英管结构，其特征在于：所述外石英管(1)和内石英管(2)封闭的一端为半球体，各冷却腔分区(31)的出液口在半球体的顶点处汇集成一个总出液口(6)。

3.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构，其特征在于：所述隔板(4)为石英板。

4.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构，其特征在于：所述进液口(5)设于外石英管(1)的周向面上。

5.根据权利要求4所述的双层主动降温石英管结构，其特征在于：所述冷却腔(3)在外石英管(1)与内石英管(2)的开口端通过封口法兰(32)封闭。

6.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构，其特征在于：多个隔板(4)在内石英管(2)的圆周方向均匀布置。

7.根据权利要求1或2所述的双层主动降温石英管结构，其特征在于：多个隔板(4)在内石英管(2)的圆周方向不均匀布置。

8.一种反应室，包括保温层(7)、加热炉丝(8)和炉门(9)，其特征在于：还包括权利要求1至7任意一项所述的双层主动降温石英管结构，所述加热炉丝(8)绕在外石英管(1)外，所述保温层(7)套在加热炉丝(8)外，所述炉门(9)用于密封外石英管(1)和内石英管(2)开口的一端。