[实用新型]一种双层主动降温石英管结构及反应室

说明书

本实用新型公开了一种双层主动降温石英管结构及反应室。石英管结构包括外石英管和内石英管，内石英管套于外石英管内，外石英管一端开口另一端封闭，内石英管一端开口另一端封闭，外石英管与内石英管之间的环形间隙形成冷却腔，冷却腔通过多个隔板分隔成多个冷却腔分区，隔板与外石英管的轴线平行，每个冷却腔分区的一端设有进液口，另一端设有出液口。反应室包括保温层、加热炉丝和炉门，还包括上述的双层主动降温石英管结构。本实用新型石英管结构的密封性好，可实现对内石英管内部进行主动降温，提升了降温速度，从而缩短工艺时间，增加产能的作用，可以实现两种不同的工艺。

技术领域

本实用新型涉及光伏电池生产设备，尤其涉及一种双层主动降温石英管结构及反应室。

背景技术

光伏电池生产过程中扩散、表面镀膜和退火是三道重要工序，分别在扩散炉、管式PECVD和退火炉内进行工艺，他们的反应室都包含有石英管，相关工艺过程都是在石英管内部完成，现在对于一道工序需要两种不同温度的镀膜工艺，通常是对石墨舟进行自然被动冷却，冷却时间比较长，已经不适应市场对大厂能的要求。

现在退火炉石英管降温主要是采用自然冷却的被动式冷却，冷却时间比较长，工艺时间比较长，本专利通过采用双层石英管，在两层石英管中间通入冷介质(可以是空气、水等)对石英管进行主动冷却，实现缩短工艺时间。也有部分提出采用主动降低炉体温度的方式，比如多炉体表面进行水冷，具有一定的降温效果，但是效果不够明显，在实际生产应用中提升产能缩短工艺时间没有明显优势。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种石英管结构的密封性好、可实现对石英管内部进行主动降温，提升了降温速度，从而缩短工艺时间，增加产能的双层主动降温石英管结构及反应室。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种双层主动降温石英管结构，包括外石英管和内石英管，所述内石英管套于外石英管内，所述外石英管一端开口另一端封闭，所述内石英管一端开口另一端封闭，所述外石英管与内石英管之间的环形间隙形成冷却腔，所述冷却腔通过多个隔板分隔成多个冷却腔分区，所述隔板与外石英管的轴线平行，每个冷却腔分区的一端设有进液口，另一端设有出液口。

作为上述技术方案的进一步改进，所述外石英管和内石英管封闭的一端为半球体，各冷却腔分区的出液口在半球体的顶点处汇集成一个总出液口。

作为上述技术方案的进一步改进，所述隔板为石英板。

作为上述技术方案的进一步改进，所述进液口设于外石英管的周向面上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述冷却腔在外石英管与内石英管的开口端通过封口法兰封闭。

作为上述技术方案的进一步改进，多个隔板在内石英管的圆周方向均匀布置。

作为上述技术方案的进一步改进，多个隔板在内石英管的圆周方向不均匀布置。

一种反应室，包括保温层、加热炉丝和炉门，还包括上述的双层主动降温石英管结构，所述加热炉丝绕在外石英管外，所述保温层套在加热炉丝外，所述炉门用于密封外石英管和内石英管开口的一端。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

(1)本实用新型的双层主动降温石英管结构，将现有的单层石英管做成双层结构，石英管结构的密封效果更佳，外石英管发生损坏修补后不影响内石英管的密封性，内外石英管之间的空间通过隔板分开成冷却腔分区，冷媒从进液口经过冷却腔分区后从出液口流出，实现对内石英管内部进行主动降温，提升了降温速度，从而缩短工艺时间，增加产能的作用。

(2)本实用新型的反应室，该反应室采用了上述的双层主动降温石英管结构，可以实现两种不同的工艺。

附图说明