[实用新型]半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具

权利要求书

1.半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具，其特征在于，包括下部进气保护治具、空气增压泵、气压调节阀、气体导流板、橡胶密封圈和上部保护治具，所述上部保护治具位于下部进气保护治具上，在下部进气保护治具上面设有一圈凸起，所述凸起外周设有橡胶密封圈，凸起内凹设有进气槽，在进气槽中固定有气体导流板，所述进气槽底部设有多个进气口，每个进气口分别与进气管路相连，所述进气管路均连接至主管路，在主管路上依次设有气压调节阀、空气增压泵。

2.根据权利要求1所述半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具，其特征在于，所述上部保护治具包括固定环，所述固定环内连接有倾斜设置的遮挡板。

3.根据权利要求2所述半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具，其特征在于，待喷砂喷头部件通过橡胶密封圈压合在下部进气保护治具上，上部保护治具的遮挡板贴附在待喷砂喷头部件的非喷砂区域。

4.根据权利要求1所述半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具，其特征在于，所述进气槽底部开有安装孔，长杆螺栓穿过安装孔将气体导流板固定在进气槽内，所述进气槽与气体导流板之间形成气体均布腔。

5.根据权利要求1所述半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具，其特征在于，所述气体导流板上开有多圈出气孔。

6.根据权利要求1所述半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具，其特征在于，在上部保护治具的固定环上开有多个固定孔，在下部进气保护治具的外周开有与固定孔对应的螺纹孔，禁锢螺丝穿过固定孔、螺纹孔将上部保护治具固定在下部进气保护治具上。

7.根据权利要求1所述半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具，其特征在于，在下部进气保护治具底部四周设有支脚。