[实用新型]一种硅晶片清洗用固定装置有效
申请号: | 202022826310.2 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN213826317U | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 李亞松;李漢生;蔡雪良 | 申请(专利权)人: | 昆山中辰矽晶有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;H01L21/687 |
代理公司: | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人: | 钟斌 |
地址: | 215316 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 清洗 固定 装置 | ||
1.一种硅晶片清洗用固定装置,包括支撑腿(1),其特征在于:所述支撑腿(1)的顶端固定安装有防护壳(2),所述防护壳(2)的底端固定安装有电机(3),所述电机(3)的动力输出端固定安装有转杆(4),所述转杆(4)的表面固定安装有第一锥齿轮(5),所述防护壳(2)的内部固定安装有支撑块(6),所述支撑块(6)的内部活动连接有第一螺纹杆(7),所述第一螺纹杆(7)的表面固定安装有第二锥齿轮(8),所述第二锥齿轮(8)与第一锥齿轮(5)相啮合,所述第一螺纹杆(7)的表面旋合有L形块(9),所述L形块(9)的内侧固定安装有夹紧装置(10),所述防护壳(2)的顶端固定安装有工作台(11);
所述夹紧装置(10)包括第二螺纹杆(1001),所述L形块(9)的内部旋合有第二螺纹杆(1001),所述第二螺纹杆(1001)的表面旋合有活动块(1002),所述活动块(1002)的内部活动连接有剪叉式活动板(1003),所述活动板(1003)的底端活动连接有滑块(1004),所述L形块(9)的内部活动连接有夹块(1005),所述夹块(1005)的顶端固定安装有固定块(1006),所述固定块(1006)的内侧固定安装有固定杆(1007),所述滑块(1004)活动连接在固定杆(1007)的表面,所述L形块(9)的内侧固定安装有辅助块(1008)。
2.根据权利要求1所述的一种硅晶片清洗用固定装置,其特征在于:所述防护壳(2)的内部固定安装有L形杆,且L形块(9)活动连接在L形杆的表面。
3.根据权利要求1所述的一种硅晶片清洗用固定装置,其特征在于:所述第一螺纹杆(7)的两端设有限位块,且限位块固定安装在防护壳(2)内部两侧壁处,两个L形块(9)与第一螺纹杆(7)的连接处设有相反的螺纹。
4.根据权利要求1所述的一种硅晶片清洗用固定装置,其特征在于:所述L形块(9)的内部固定安装有支撑杆,且夹块(1005)活动连接在支撑杆的表面,L形块(9)的内部开设有与夹块(1005)相适配的槽,夹块(1005)的底端固定安装有软性垫块。
5.根据权利要求1所述的一种硅晶片清洗用固定装置,其特征在于:两个所述活动块(1002)与第二螺纹杆(1001)的连接处设有相反的螺纹,两个活动板(1003)通过连接杆活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅晶片清洗用固定装置,其特征在于:所述防护壳(2)的内部开设有与L形块(9)相适配的槽。
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