[实用新型]一种硅晶片清洗用固定装置

说明书

本实用新型公开了一种硅晶片清洗用固定装置，包括支撑腿，所述支撑腿的顶端固定安装有防护壳，所述防护壳的底端固定安装有电机，所述电机的动力输出端固定安装有转杆，所述转杆的表面固定安装有第一锥齿轮，所述防护壳的内部固定安装有支撑块，所述支撑块的内部活动连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的表面固定安装有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮相啮合，所述第一螺纹杆的表面旋合有L形块，所述L形块的内侧固定安装有夹紧装置。本实用新型通过L形块的内侧固定安装有夹紧装置，且两个L形块由防护壳的内部设置的调节机构，使得夹紧装置在工作台的上方，便于由夹紧装置将硅晶片牢靠的固定在工作台的上表面。

技术领域

本实用新型涉及硅晶片生产设备技术领域，具体为一种硅晶片清洗用固定装置。

背景技术

硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。

目前的硅晶片清洗用固定装置，在固定硅晶片时极为不便，且固定不牢靠，一般的硅晶片清洗用固定装置对硅晶片的固定具有一定局限性，不方便固定大小不同的硅晶片，即实用性差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅晶片清洗用固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅晶片清洗用固定装置，包括支撑腿，所述支撑腿的顶端固定安装有防护壳，所述防护壳的底端固定安装有电机，所述电机的动力输出端固定安装有转杆，所述转杆的表面固定安装有第一锥齿轮，所述防护壳的内部固定安装有支撑块，所述支撑块的内部活动连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的表面固定安装有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮相啮合，所述第一螺纹杆的表面旋合有L形块，所述L形块的内侧固定安装有夹紧装置，所述防护壳的顶端固定安装有工作台。

所述夹紧装置包括第二螺纹杆，所述L形块的内部旋合有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的表面旋合有活动块，所述活动块的内部活动连接有剪叉式活动板，所述活动板的底端活动连接有滑块，所述L形块的内部活动连接有夹块，所述夹块的顶端固定安装有固定块，所述固定块的内侧固定安装有固定杆，所述滑块活动连接在固定杆的表面，所述L形块的内侧固定安装有辅助块。

优选的，所述防护壳的内部固定安装有L形杆，且L形块活动连接在L形杆的表面。

优选的，所述第一螺纹杆的两端设有限位块，且限位块固定安装在防护壳内部两侧壁处，两个L形块与第一螺纹杆的连接处设有相反的螺纹。

优选的，所述L形块的内部固定安装有支撑杆，且夹块活动连接在支撑杆的表面，L形块的内部开设有与夹块相适配的槽，夹块的底端固定安装有软性垫块。

优选的，所述两个活动块与第二螺纹杆的连接处设有相反的螺纹，两个活动板通过连接杆活动连接。

优选的，所述防护壳的内部开设有与L形块相适配的槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该硅晶片清洗用固定装置，通过L形块的内侧固定安装有夹紧装置，且两个L形块由防护壳的内部设置的调节机构，使得夹紧装置在工作台的上方，便于由夹紧装置将硅晶片牢靠的固定在工作台的上表面。

2、该硅晶片清洗用固定装置，先通过启动电机，使得转杆带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮带动第二锥齿轮使得第一螺纹杆转动，第一螺纹杆带动两个L形块同时向工作台的中心处靠拢的方式移动，即两个L形块之间的距离可以调节，再通过L形块的内侧固定安装有夹紧装置，便于将大小不同的硅晶片牢靠的固定在工作台的上表面。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型L形块的内部结构示意图；

图3为本实用新型图1中A处放大图。