[实用新型]一种晶圆电镀挂具有效
| 申请号： | 202022826649.2 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN216006068U | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 黄雷 | 申请（专利权）人： | 昆山成功环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;C25D7/12 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 吕正刚 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆电镀挂具，其特征在于，晶圆电镀挂具包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，所述密封背板的内侧面对应于所述凹腔的形状设置有凸块，所述密封背板的外侧边沿搭靠于所述挂具基板的表面，在所述密封背板与所述挂具基板的表面的接触面上设置有第一密封圈，在所述挂具基板上设置有多个对密封背板进行锁定的锁紧机构，每一锁紧机构分别包括锁紧凸轮和锁紧臂，所述锁紧臂可绕所述锁紧凸轮旋转升降，带动锁紧臂的下表面压贴所述密封背板的外侧面。
2.根据权利要求1所述的晶圆电镀挂具，其特征在于，在所述凸块底部靠外的位置设置有第二密封圈。
3.根据权利要求1所述的晶圆电镀挂具，其特征在于，所述密封背板的外侧面上设置有便于抓持的抓取环。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶圆电镀挂具，其特征在于，所述锁紧臂及所述锁紧凸轮采用聚醚醚酮材料制成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山成功环保科技有限公司，未经昆山成功环保科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022826649.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于高分子卷材生产的可纠偏放料装置
- 下一篇：箱体拼接的场馆
