[实用新型]一种晶圆电镀挂具

说明书

本实用新型涉及一种晶圆电镀挂具，晶圆电镀挂具包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，所述密封背板的内侧面对应于所述凹腔的形状设置有凸块，所述密封背板的外侧边沿搭靠于所述挂具基板的表面，在所述密封背板与所述挂具基板的表面的接触面上设置有第一密封圈，在所述挂具基板上设置有多个对密封背板进行锁定的锁紧机构，每一锁紧机构分别包括锁紧凸轮和锁紧臂，所述锁紧臂可绕所述锁紧凸轮旋转升降，带动锁紧臂的下表面压贴所述密封背板的外侧面。本申请操作方便，能够在提高生产加工效率的同时提升电镀质量，降低锁紧机构磨损对于电解液及产品的影响，还能够避免药液等在挂具中过分残留。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，特别是涉及一种晶圆电镀挂具。

背景技术

晶圆产品电镀设备中，晶圆是通过挂具投放在电镀槽液体内，进行电镀工艺的操作。晶圆每次只电镀一面，另一面需要被密封保护，目前是通过背板及相配的平面密封O型圈密封；传统的密封背板锁紧结构是用圆周均布的螺栓拧紧来对密封圈压缩实现密封，但这一锁紧结构存在诸多缺点，一是螺栓拆装频繁，螺纹副磨损严重并产生金属磨粒对电解液及产品造成污染；二是螺栓一般有10个，人工每次拆装费时费力，影响生产效率；三是通过螺栓固定，必然涉及在密封背板上开孔，会导致药液在螺孔中残留，不便于清洗清洁，会导致后续产生药液交叉污染。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种晶圆电镀挂具，其操作方便，能够在提高生产加工效率的同时提升电镀质量，降低锁紧机构磨损对于电解液及产品的影响，还能够避免药液等在挂具中过分残留。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种晶圆电镀挂具，晶圆电镀挂具包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在所述凹腔上扣合固定有密封背板，所述密封背板的内侧面对应于所述凹腔的形状设置有凸块，所述密封背板的外侧边沿搭靠于所述挂具基板的表面，在所述密封背板与所述挂具基板的表面的接触面上设置有第一密封圈，在所述挂具基板上设置有多个对密封背板进行锁定的锁紧机构，每一锁紧机构分别包括锁紧凸轮和锁紧臂，所述锁紧臂可绕所述锁紧凸轮旋转升降，带动锁紧臂的下表面压贴所述密封背板的外侧面。

对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。

可选地，在所述凸块底部靠外的位置设置有第二密封圈。

可选地，所述密封背板的外侧面上设置有便于抓持的抓取环。

可选地，所述锁紧凸轮水平设置，在所述锁紧凸轮的侧面周向设置有凸轮轮廓，所述凸轮轮廓为修正余弦曲线。

可选地，所述密封背板的外侧面的边缘设置有台阶面，所述锁紧机构接近于所述台阶面设置，所述锁紧臂绕所述锁紧凸轮转动进而接近或远离所述台阶面，所述锁紧臂转动至其下表面压紧所述台阶面，用于完成锁紧臂对于所述密封背板的锁定。

可选地，所述锁紧臂及所述锁紧凸轮采用聚醚醚酮材料制成。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的晶圆电镀挂具，其在密封背板与挂具基板的顶部接触面的位置设置第一密封圈，结合锁紧机构的正压作用，能够保证密封背板与挂具基板间的有效密封，而且在固定过程中密封背板不会发生相对转动，密封圈不会产生磨损。而锁紧机构针对晶圆电镀工作环境特点，采用锁紧凸轮与锁紧臂旋转配合的结构，利用锁紧凸轮所特有的下行的修正余弦曲线的凸轮轮廓，导引所述锁紧臂在向内旋转时会平滑向下，也就是说只需旋转锁紧臂就可以实现锁紧臂对于密封背板的正压缩紧，操作顺滑便利，使得对于挂具的拆装节拍可缩短至30秒以内，有效提高生产效率。