[实用新型]一种浸泡蚀刻设定架算盘珠有效

专利信息
申请号: 202022828225.X 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN214672513U 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 徐政权;李章辉;高坤旭;李文铭;潘明明;徐国平 申请(专利权)人: 重庆永信科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/306;G02F1/13
代理公司: 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 代理人: 曹政
地址: 402160 重庆市永川区星光大道*** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 一种 浸泡 蚀刻 设定 算盘珠
【说明书】:

本实用新型公开了一种浸泡蚀刻设定架算盘珠,具有:珠体,其横截面的两侧为平面;承载部,设置在珠体的前端上,承载部的两侧与珠体的两侧平齐,承载部的前端为弧形;珠体的后端为平面,降低基板的制损,减小基板板厚差,提高HF的使用效率,降低生产成本。

技术领域

本实用新型属于液晶显示屏技术领域,尤其涉及一种浸泡蚀刻设定架算盘珠。

背景技术

近年来随着显示屏行业的高速发展,对现实生活中各类液晶显示屏要求越来越高,液晶显示屏逐渐趋向尺寸愈大、板厚愈薄的方向发展。目前减薄行业的减薄方式主要是物理研磨和化学蚀刻,其中化学蚀刻是最主要、最重要的减薄方式。

在实现本实用新型的过程中,发明人发现现有技术至少存在以下问题:

化学蚀刻方式主要分为喷淋蚀刻和浸泡蚀刻,现有的G5及以上尺寸液晶面板1.0mm薄化至0.3mm的加工工艺难度较高。喷淋蚀刻受流量影响较大,局部易出现较大板厚差的问题;现有浸泡蚀刻所用的治具之一是算盘珠,其作用是对一定数量的基板进行限位,避免基板在酸液槽内出现大幅摆动和叠片等引起的制损。

现有的算盘珠存在一定的缺陷,基板在蚀刻过程中易出现由算盘珠引起的卡空卡裂制损、基板厚度相差较大的问题。

缺点1:小/中型号算盘珠的最大限位长度分别为6mm/11.5mm,对G5及以上尺寸基板限位效果差,易造成基板齿位位置出现卡空卡裂制损(制损率>13%);

缺点2:大型号算盘珠最大限位长度为14mm,G5尺寸基板蚀刻后,齿位位置的板厚差非常大(100um以上/片),经常导致基板板厚超内控范围,无法满足量产要求;

缺点3:各型号算盘珠与基板的可接触面积较大,对HF溶液的使用废液面积要求较高,增加了生产成本;而且易造成基板齿位位置出现较大板厚差和蚀刻不均,影响基板表观良率;

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种降低基板制损,减小基板板厚差的浸泡蚀刻设定架算盘珠。

为了解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:一种浸泡蚀刻设定架算盘珠,具有:

珠体,其横截面的两侧为平面;

承载部,设置在所述珠体的前端上,所述承载部的两侧与珠体的两侧平齐,所述承载部的前端为弧形;所述珠体的后端为平面。

所述珠体和承载部为一体式结构。

算盘珠包括一系列的珠体,一系列的珠体中心相互连接成一个杆体。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果,降低基板的制损,减小基板板厚差,提高HF的使用效率,降低生产成本,同时实现浸泡蚀刻G5及以上尺寸液晶面板1.0mm薄化至0.3mm量产的目标。

附图说明

图1为现有技术算盘珠的结构示意图;

图2为现有技术算盘珠承载原理图;

图3为现有技术算盘珠计算原理图;

图4为本实用新型实施例中提供的浸泡蚀刻设定架算盘珠的结构示意图;

图5为图4的浸泡蚀刻设定架算盘珠的承载原理图;

图6为图4的浸泡蚀刻设定架算盘珠的计算原理图;

上述图中的标记均为:1、珠体,2、承载部。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

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