[实用新型]一种用于真空镀膜样品的取样装置

说明书

本实用新型公开了一种用于真空镀膜样品的取样装置，所述取样装置包括取样装置底座和取样装置盖板，所述取样装置底座设有一个或多个取样片安装槽，所述取样片安装槽为上下开放的槽，所述取样片安装槽内设有凸台以承接样片，所述取样装置盖板可拆卸的装配于所述取样装置底座上以覆盖所有取样片安装槽。在转移安装过程中样片紧固，不会有样片跌落、遗失的风险。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种用于真空镀膜样品的取样装置。

背景技术

真空电子束蒸发镀膜是通过电子束的偏转作用于坩埚熔池当中，熔池中的金属受热熔化并形成原子蒸汽离开金属熔池液面，被蒸发出来的原子蒸汽作用于基板上，形成镀膜。通常根据作用时间的长短，基板成膜温度等因素的不同，所形成镀膜的质量也往往不尽相同。在某些特定的场合，受限于材料本身物理化学性质的影响，人不宜进行近距离接触操作，只能通过中间手段，如机械手、手套箱等方式进行操作。这样的操作大大增加了取样过程的难度，取样装置的设计显得尤为重要，需要满足便于拆装、安装简易、取样简便等要求。

目前所使用的真空样片取样装置如图1所示，取样样片安装于取样装置的样片槽内，整个装置放置于镀膜装置上，样片无固定结构，在装置安装、转运、拆卸的过程中，样片存在跌落丢失的风险。同时整个取样装置与镀膜的狭缝直接接触，有产生粘连的风险。长时间取样的话，不利于镀膜装置的稳定运行，才在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对真空镀膜样品在取样装置上存放不稳的问题，而提供一种用于真空镀膜样品的取样装置。

为实现本实用新型的目的所采用的技术方案是：

一种用于真空镀膜样品的取样装置，包括取样装置底座和取样装置盖板，所述取样装置底座设有一个或多个取样片安装槽，所述取样片安装槽为上下开放的槽，所述取样片安装槽内设有凸台以承接样片，所述取样装置盖板可拆卸的装配于所述取样装置底座上以覆盖所有取样片安装槽。

在上述技术方案中，所述取样片安装槽设有多个，且呈矩阵均匀分布于所述取样装置底座上。

在上述技术方案中，所述取样装置底座由下底座板和上底座板固定连接而成，所述下底座板上设有一个多个下通孔，所述上底座板上设有一个或多个上通孔，所述下通孔和所述上通孔一一上下对应设置，所述下通孔的尺寸小于所述上通孔的尺寸，每一对应设置的上通孔和下通孔对应形成一个所述取样片安装槽。

在上述技术方案中，所述下底座板包括上平面板和固定于所述上平面板边缘上的侧支撑板。

在上述技术方案中，所述上通孔的尺寸大于所述真空镀膜样片的尺寸，所述下通孔的尺寸小于所述真空镀膜样片的尺寸。

在上述技术方案中，所述取样装置底座上设有圆台形凸起以使得取样装置盖板装配于取样装置底座上时与其之间留有间隙。

在上述技术方案中，所述取样装置底座上设有螺纹孔，所述取样装置盖板上设有通孔，所述通孔和所述螺纹孔一一对应设置，螺钉紧固件穿过所述通孔和螺纹孔将所述取样装置盖板紧固于所述取样装置底座上。

在上述技术方案中，所述取样装置底座上设有两个对称设置豁口。

在上述技术方案中，所述取样片安装槽的一侧设有与其相连通的工具插槽。

在上述技术方案中，所述取样装置底座、取样装置盖板的材质为金属钽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型的取样装置采用夹心结构的取样支架结构，较原有取样支架而言，在装置的使用便携性、安装操作、实用性等方面都有显著提升。主要针对装置在固定方式、样片安装形式、样片取样结构等方面都做了改进，使得整个取样支架结构可以胜任特殊工况环境下取样操作的要求。