[实用新型]一种激光刻蚀精密对位平台

权利要求书

1.一种激光刻蚀精密对位平台，其特征在于，包括平台(1)，所述平台(1)固定设置在Z轴移动台(3)上，所述Z轴移动台(3)上设有X轴直线电机(10)，所述平台(1)在Z轴移动台(3)上沿着X轴方向移动，所述Z轴移动台(3)的侧边固定在Y轴移动台(4)上，所述Z轴移动台(3)沿着Y轴移动台(4)的竖直板沿着Z轴方向移动，所述Y轴移动台(4)的竖直板上设有滚珠丝杠(8)，所述滚珠丝杠(8)通过从动轮连接Z轴伺服电机(7)，所述Z轴移动台(3)通过螺母沿着滚珠丝杠(8)上下移动，所述Y轴移动台(4)的水平板底部设有Y轴直线电机(6)，所述Y轴移动台(4)底部设有Y轴滑轨(5)进行Y轴方向移动。

2.根据权利要求1所述的一种激光刻蚀精密对位平台，其特征在于：所述Z轴移动台(3)上设有X轴滑轨，所述平台(1)通过滑轨在X轴滑轨上沿着X轴方向移动。

3.根据权利要求2所述的一种激光刻蚀精密对位平台，其特征在于：所述Y轴移动台(4)上设有Z轴滑轨(9)，所述Z轴移动台(3)通过滑块在Z轴滑轨(9)上下移动。

4.根据权利要求3所述的一种激光刻蚀精密对位平台，其特征在于：所述Y轴移动台(4)的底部通过滑块沿着Y轴方向移动。

5.根据权利要求4所述的一种激光刻蚀精密对位平台，其特征在于：所述Z轴移动台(3)的侧边与底板通过三角固定板连接固定。

6.根据权利要求5所述的一种激光刻蚀精密对位平台，其特征在于：所述Z轴伺服电机(7)连接主动轮，所述主动轮通过皮带连接滚珠丝杠(8)上的从动轮。