[实用新型]一种最终抛光设备

权利要求书

1.一种最终抛光设备，其特征在于，所述设备包括：抛光台、设置在抛光台上表面的抛光垫、设置于所述抛光台下方的驱动轴、设置在所述抛光台的上方空间的抛光头和喷嘴；其中，所述喷嘴朝向所述抛光台上的抛光垫喷洒抛光液，并且喷洒范围至少覆盖所述抛光垫的中心位置至所述抛光垫边缘的区域。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述喷嘴的喷洒角度大于100度。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述喷嘴与所述抛光垫之间的喷洒距离与所述喷嘴的喷洒范围成正比。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述喷嘴喷洒出的抛光液的液体形状为均匀的全圆锥状的喷雾。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述喷嘴内的螺纹直径为1/4英寸。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：用于装盛有抛光液的储存罐以及将所述储存罐内的抛光液向所述喷嘴输送的抛光液管道，所述抛光液管道上设置有阀门，用于控制向所述喷嘴输送的抛光液的输送量。

7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述喷嘴的数量与最终抛光工序中所使用的抛光液的种类一致。

8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述抛光头包括：头部主体、不锈钢定盘、通过紧固件与所述头部主体和所述不锈钢定盘连接的旋转驱动件，设置在所述不锈钢定盘下方的组装式吸附垫以及真空/空气管；

其中，通过所述真空/空气管将所述不锈钢定盘内的空间抽成真空，以通过负压将待抛光晶圆吸附在所述组装式吸附垫中；所述旋转驱动件通过带动所述头部主体旋转，从而使得所述不锈钢定盘以及所述组装式吸附垫所吸附的所述待抛光晶圆对应于所述头部主体的旋转而旋转。