[实用新型]一种硅片加工用清洗装置

权利要求书

1.一种硅片加工用清洗装置，包括机箱(1)、支撑架(2)和顶盖(3)，其特征在于：所述支撑架(2)的底部与机箱(1)的顶部固定连接，所述顶盖(3)的底部与支撑架(2)的顶部固定连接，所述机箱(1)的内部开设有空腔(5)，所述空腔(5)的内部固定连接有隔板(6)，所述空腔(5)的内部设置有支撑板(7)，所述支撑板(7)的顶部活动连接有放置箱(8)，所述放置箱(8)顶部的两侧均固定连接有提拉把手(20)；

所述机箱(1)的内部固定连接有电机(9)，所述电机(9)的输出端固定连接有蜗杆(10)，所述空腔(5)的内底壁固定连接有U形板(12)，所述U形板(12)的内部通过转轴转动连接有蜗轮(13)，所述蜗轮(13)转轴的一端固定连接有转动板(14)；

所述空腔(5)的内部固定连接有固定管(15)，所述转动板(14)与固定管(15)的内部活动连接，所述固定管(15)的内部活动连接有伸缩柱(16)，所述伸缩柱(16)底端的侧表面固定连接有固定杆(17)，所述转动板(14)的内部开设有限位槽(18)，所述固定杆(17)与限位槽(18)的内部活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述顶盖(3)的正面固定连接有控制面板(4)，所述控制面板(4)的内部设置有触控屏。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述空腔(5)的内底壁开设有电机槽(11)，所述电机(9)固定安装在电机槽(11)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述伸缩柱(16)的顶端贯穿隔板(6)的底部并延伸至其顶部，所述伸缩柱(16)位于隔板(6)顶部的一端与支撑板(7)的底部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述固定管(15)两侧的内壁均开设有活动槽(19)，所述转动板(14)与活动槽(19)的内部活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于：所述机箱(1)的底部设置有四个滚轮(21)，四个所述滚轮(21)的顶部分别与机箱(1)底部的四角活动连接。