[实用新型]一种硅片加工用清洗装置有效

专利信息
申请号: 202022837845.X 申请日: 2020-12-01
公开(公告)号: CN214348242U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 祝凯;吾超凤;王雅妹 申请(专利权)人: 开化晶芯电子有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;B08B13/00
代理公司: 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 代理人: 钱磊
地址: 324300 浙江省衢州市开*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 工用 清洗 装置
【说明书】:

实用新型涉及硅片加工技术领域,且公开了一种硅片加工用清洗装置,包括机箱、支撑架和顶盖,所述支撑架的底部与机箱的顶部固定连接,所述顶盖的底部与支撑架的顶部固定连接,所述机箱的内部开设有空腔,所述空腔的内部固定连接有隔板,所述空腔的内部设置有支撑板。该硅片加工用清洗装置,当硅片清洗完成后,通过电机带动蜗杆转动,然后带动两侧的蜗轮转动,通过蜗轮在转动的过程中带动两个转动板旋转,使得转动板远离蜗轮的一侧在固定管的内部向上移动,然后带动伸缩柱在固定管的内部向上移动,通过伸缩柱推动支撑板向上移动,带动放置箱向上移动,使得放置箱移动到离清洗液面较远的位置处,然后再便于将放置箱从装置的内部取出。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体为一种硅片加工用清洗装置。

背景技术

硅片在经过一系列加工后,其表面会形成一层活跃的单晶硅原子以及其他的一些杂质,为了对这个杂质进行清理,我们需要使用到硅片清洗机。

传统的硅片清洗机在使用时,主要是通过将硅片放置到放置箱中,然后再放入到装有清洗液的清洗机器中进行清洗,在清洗的过程中,装有硅片的放置箱会完全沉浸在清洗液的内部,使得放置箱的顶部离清洗液的液面距离较近,导致了在清洗完成之后不便于将放置箱从清洗机的内部取出,或者在取出放置箱的过程中容易与清洗液发生接触,这些清洗液沾染到人身上时可能会给人体造成伤害,为此我们提出了一种硅片加工用清洗装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅片加工用清洗装置,具备在清洗完成后,便于将装有硅片的放置箱从装置的内部取出的优点,解决了上述背景技术中所提出的问题。

(二)技术方案

本实用新型提供如下技术方案:一种硅片加工用清洗装置,包括机箱、支撑架和顶盖,所述支撑架的底部与机箱的顶部固定连接,所述顶盖的底部与支撑架的顶部固定连接,所述机箱的内部开设有空腔,所述空腔的内部固定连接有隔板,所述空腔的内部设置有支撑板,所述支撑板的顶部活动连接有放置箱,所述放置箱顶部的两侧均固定连接有提拉把手。

所述机箱的内部固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有蜗杆,所述空腔的内底壁固定连接有U形板,所述U形板的内部通过转轴转动连接有蜗轮,所述蜗轮转轴的一端固定连接有转动板。

所述空腔的内部固定连接有固定管,所述转动板与固定管的内部活动连接,所述固定管的内部活动连接有伸缩柱,所述伸缩柱底端的侧表面固定连接有固定杆,所述转动板的内部开设有限位槽,所述固定杆与限位槽的内部活动连接。

优选的,所述顶盖的正面固定连接有控制面板,所述控制面板的内部设置有触控屏。

优选的,所述空腔的内底壁开设有电机槽,所述电机固定安装在电机槽的内部。

优选的,所述伸缩柱的顶端贯穿隔板的底部并延伸至其顶部,所述伸缩柱位于隔板顶部的一端与支撑板的底部固定连接。

优选的,所述固定管两侧的内壁均开设有活动槽,所述转动板与活动槽的内部活动连接。

优选的,所述机箱的底部设置有四个滚轮,四个所述滚轮的顶部分别与机箱底部的四角活动连接。

与现有技术相比,本实用新型提供了一种硅片加工用清洗装置,具备以下有益效果:

1、该硅片加工用清洗装置,将加工后的硅片放入到放置箱的内部,再将放置箱放入到机箱的内部进行清洗,当硅片清洗完成后,通过电机带动蜗杆转动,然后带动两侧的蜗轮转动,通过蜗轮在转动的过程中带动两个转动板旋转,使得转动板远离蜗轮的一侧在固定管的内部向上移动,然后带动伸缩柱在固定管的内部向上移动,通过伸缩柱推动支撑板向上移动,带动放置箱向上移动,使得放置箱移动到离清洗液面较远的位置处,然后再便于将放置箱从装置的内部取出。

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