[实用新型]基板传送装置

权利要求书

1.一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，其特征在于，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持在所述基板载具的所述侧壁上。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述辅助夹持结构包括设置于所述支撑梁上的驱动连接部，以及与所述驱动连接部连接的连接臂，所述连接臂远离所述驱动连接部一端设置有夹持部，所述驱动连接部用于控制所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相平行，或者，

所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直，以使得所述夹持部能够夹持所述基板载具。

3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述驱动连接部包括与所述支撑梁的延伸方向相平行设置的第一伸缩气缸，以及通过第一旋转轴连接至所述第一伸缩气缸的一端的传动杆，所述传动杆与所述连接臂的一端通过第二旋转轴传动连接；

所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直时，所述传动杆的延伸方向与所述第一伸缩气缸的运动方向相垂直；

所述第一伸缩气缸伸出，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相平行，所述第一伸缩气缸回缩，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相垂直。

4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述驱动连接部还包括在垂直于所述支撑梁的延伸方向的方向上、设置于所述传动杆相对的两侧的防护板，所述防护板固定于所述支撑梁上，并向靠近所述基板载具的方向延伸设置，所述第二旋转轴的两端固定于所述防护板远离所述支撑梁的一端。

5.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述夹持部包括：

收纳槽，所述收纳槽的底部与所述连接臂连接；

容纳于所述收纳槽内的第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的一端固定于所述收纳槽的底部，且所述第二伸缩气缸的延伸方向与所述传动杆的延伸方向相同；

相对设置的两个夹持组件，每个所述夹持组件包括至少一个夹持连杆，至少一个所述夹持连杆包括沿其排列方向设置的首端和末端，所述首端与所述第二伸缩气缸连接，所述末端为自由端；

所述第二伸缩气缸伸出，所述末端向远离所述收纳槽的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而增大；

所述第二伸缩气缸收缩，所述末端向靠近所述收纳槽的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而减小。

6.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一伸缩气缸上设置有用于检测所述第一伸缩气缸的伸缩状态的第一传感器，所述第二伸缩气缸上设置有用于检测所述第二伸缩气缸的伸缩状态的第二传感器。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板载具具有与所述横梁的延伸方向相平行的中心线，所述辅助夹持结构用于夹持于所述基板载具上所述中心线远离所述横梁的部分。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的基板传送装置，其特征在于，每个所述支撑梁靠近所述基板载具的侧面上设置有容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述辅助夹持结构。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的基板传送装置，其特征在于，还包括框架，所述框架上设置有导轨，每个所述支撑梁的底部设置有滚轮，所述支撑梁通过所述滚轮在所述导轨上移动，以将所述基板载具在各个工艺槽之间传送。