[实用新型]基板传送装置

说明书

本实用新型涉及一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持所述基板载具的所述侧壁上。

技术领域

本实用新型涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种基板传送装置。

背景技术

为了降低能耗及避免长时间点灯导致背光源过热问题，需要尽可能大的降低走线通道阻抗。目前降低走线阻抗通常通过导电层加厚来实现，就目前工艺而言，主要有磁控溅射和电化学沉积两种方案，其中，电化学沉积工艺是一种低成本的化学性成膜方式，可以沉积2～20um的厚金属，从而获得较低的电阻，电沉积具有效率高、应力低、风险小等优点。

但是大尺寸电化学沉积设备中，基板传送装置搬运基板载具在各个工艺槽体运行，进行电化学沉积工艺生产，应产能需求基板传送装置搬运基板载具的速度需要达到2000mm/s，基板载具上部有夹紧机构，启动、停止、行进过程中，由于惯性导致基板载具下部会有偏摆，摆动对机构的可靠性和产能满足情况都会产生影响。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种基板传送装置，解决基板载具在运输过程中容易摆动的问题。

为了达到上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持在所述基板载具的所述侧壁上。

可选的，所述辅助夹持结构包括设置于所述支撑梁上的驱动连接部，以及与所述驱动连接部连接的连接臂，所述连接臂远离所述驱动连接部一端设置有夹持部，所述驱动连接部用于控制

所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相平行，或者

所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直，以使得所述夹持部能够夹持所述基板载具。

可选的，所述驱动连接部包括与所述支撑梁的延伸方向相平行设置的第一伸缩气缸，以及通过第一旋转轴连接至所述第一伸缩气缸的一端的传动杆，所述传动杆与所述连接臂的一端通过第二旋转轴传动连接；

所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直时，所述传动杆的延伸方向与所述第一伸缩气缸的运动方向相垂直；

所述第一伸缩气缸伸出，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相平行，所述第一伸缩气缸回缩，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相垂直。

可选的，所述驱动连接部还包括在垂直于所述支撑梁的延伸方向的方向上、设置于所述传动杆相对的两侧的防护板，所述防护板固定于所述支撑梁上，并向靠近所述基板载具的方向延伸设置，所述第二旋转轴的两端固定于所述防护板远离所述支撑梁的一端。

可选的，所述夹持部包括：

收纳槽，所述收纳槽的底部与所述连接臂连接；

容纳于所述收纳槽内的第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的一端固定于所述收纳槽的底部，且所述第二伸缩气缸的延伸方向与所述传动杆的延伸方向相同；

相对设置的两个夹持组件，每个所述夹持组件包括至少一个夹持连杆，至少一个所述夹持连杆包括沿其排列方向设置的首端和末端，所述首端与所述第二伸缩气缸连接，所述末端为自由端；