[实用新型]一种在线式石墨舟形变检测系统

权利要求书

1.一种在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，包括：

石墨舟输送模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；

激光测量模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，用于实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数据上传于分析处理模块；

分析处理模块，对测量数据进行计算分析，并得出石墨舟是否形变的检测结果；

控制模块，与所述激光测量模块通信连接，用于触发所述激光测量模块的启动。

2.根据权利要求1所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述石墨舟输送模块包括：托盘、传送皮带和驱动装置，石墨舟装载于所述托盘上，所述托盘连接于所述传送皮带上，驱动装置驱动所述传送皮带运转。

3.根据权利要求2所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述石墨舟输送模块还包括分别设于所述传送皮带两侧的两滑轨，所述托盘的两侧设有滑块，所述滑块可沿所述滑轨滑动。

4.根据权利要求2所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述托盘的前后端均设有凸起的卡位，所述石墨舟前后端均设有底座，所述底座对应所述卡位设有两定位部，所述石墨舟装载于所述托盘上时，所述卡位卡设于两定位部间。

5.根据权利要求2所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述激光测量模块包括：两安装支架和设于两安装支架上的若干位移传感器，两安装支架面对面设于所述传送皮带的两相对的外侧，两安装支架间的距离大于所述石墨舟的宽度。

6.根据权利要求5所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，两安装支架上同一水平高度的两位移传感器配对设置。

7.根据权利要求5所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，每一安装支架上均设有两对位移传感器，每一位移传感器均可上下、左右调节地安装于安装支架上；两对位移传感器分别对应石墨舟的上部和下部位置安装于安装支架上。

8.根据权利要求1-7任一项所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，还包括若干触发式传感器，所述若干触发式传感器分别设于PECVD机台和自动上下片机台上，所述若干触发式传感器与上下片机台PLC通信连接，所述触发式传感器用于检测到石墨舟，并发送信号至上下片机台PLC。

9.根据权利要求1所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述分析处理模块包括：DLL动态链接库、实时数据库、分析单元和显示单元；所述DLL动态链接库与所述激光测量模块实时通讯，确保测量数据实时读取；所述实时数据库用于同时保存激光测量模块的多个测量数据；所述分析单元用于对测量数据进行分析，得出石墨舟的检测结果；所述显示单元用于显示对石墨舟测量数据的变化趋势。