[实用新型]一种在线式石墨舟形变检测系统

说明书

本实用新型公开一种在线式石墨舟形变检测系统，该检测系统包括：石墨舟输送模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；激光测量模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，用于实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数据上传于分析处理模块；分析处理模块，对测量数据进行计算分析，并得出石墨舟是否形变的检测结果；控制模块，与所述激光测量模块通信连接，用于触发所述激光测量模块的启动。本实用新型可对运行中的石墨舟进行不间断测量，对其出现的各种形变的检出率高，省去了定期停工对石墨舟进行人工检测的工作，节省了劳力和成本，提高了石墨舟的使用效率，提高了产能。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟形变检测技术领域，尤其涉及一种在线式石墨舟形变检测系统。

背景技术

随着光伏发电成本的不断降低，太阳能发电将具有更加广阔的市场空间。而石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。石墨舟自动上下片机将未镀膜的硅片通过机器人吸盘放在石墨舟页的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片。放置完全部的硅片后，石墨舟通过皮带线带动进入PECVD镀膜机。石墨舟上的硅片在PECVD镀膜机内部进行高温条件下的特定化学反应，实现硅片表面的镀膜工序。完成硅片镀膜后的石墨舟从PECVD里退出，然后再通过皮带线运输到自动上下片机，自动上下片机台的机器人把镀膜完成的成品硅片从石墨舟里卸取出来。卸取完成品硅片后，机器人再次将未镀膜的原始硅片放入石墨舟中，依次重复上述的过程。

在生产过程中，石墨舟经常被皮带线上的金属托盘托举，在皮带线上来回往返进入自动上下片机和PECVD之间。一个石墨舟由数量众多的石墨舟页组成，石墨卡点安装于石墨舟页上，石墨卡点用于托住石墨舟页间的硅片。相邻的石墨舟页间由陶瓷套分隔开来，再由陶瓷杆进行固定，陶瓷杆的两端再通过石墨螺母装配固定。装配完成后的石墨舟是由数量众多的、竖直放置的、相互平行的石墨舟页组成，且整个石墨舟上下宽度一致，石墨舟页之间间距固定且相等，石墨舟页均垂直于地面。但由于生产过程中机台震动、机器人搬运石墨舟、高压放电等因素的影响，都会造成石墨舟的陶瓷套和陶瓷杆松动、陶瓷杆断裂等情况，结果就导致石墨舟出现左右大小不一致、上下错位、舟片不平行等异常情况，甚至会出现舟片破损等严重情况。如石墨舟出现变异常，就会导致石墨舟页间距不等、石墨舟扭曲变形、石墨舟页不垂直于地面等情况，这就会导致机器人末端的相互平行的吸盘往石墨舟里装卸片的时，出现有部分硅片放置不到卡点上的情况，出现硅片掉落从而导致碎片发生。形变严重的石墨舟甚至会破坏到机器人上安装的数量众多的吸盘，出现吸盘破损，从而导致更大的损失。

目前，业内均采用人工定期、定次将石墨舟从机台上搬运下来进行人工检查，而无论石墨舟是否出现变形，这样的操作都会导致工序停滞，大大影响了整体机台的产能，给生产造成巨大的损失。故亟需开发一种快速的、智能化的、能够提前预判石墨舟变形的检测系统。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种在线式石墨舟形变检测系统，以解决现有技术中无法预判石墨舟变形，需要定期人工检查石墨舟是否出现变形，而导致工序停滞而影响产能的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：本实用新型提供一种在线式石墨舟形变检测系统，包括：石墨舟输送模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；激光测量模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，用于实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数据上传于分析处理模块；分析处理模块，对测量数据进行计算分析，并得出石墨舟是否形变的检测结果；控制模块，与所述激光测量模块通信连接，用于触发所述激光测量模块的启动。

进一步地，所述石墨舟输送模块包括：托盘、传送皮带和驱动装置，石墨舟装载于所述托盘上，所述托盘连接于所述传送皮带上，驱动装置驱动所述传送皮带运转。

进一步地，所述石墨舟输送模块还包括分别设于所述传送皮带两侧的两滑轨，所述托盘的两侧设有滑块，所述滑块可沿所述滑轨滑动。