[实用新型]一种刻蚀水洗装置

权利要求书

1.一种刻蚀水洗装置，其特征在于，所述刻蚀水洗装置包括刻蚀装置、水洗装置、输送装置(13)和控制器，所述刻蚀装置包括第一刻蚀组件(1)和第二刻蚀组件(2)，所述第一刻蚀组件(1)包括若干激光发生器(4)，所述第二刻蚀组件(2)包括若干激光发生器(4)；

所述水洗装置包括对应设置的喷头和水槽，所述喷头包括酸洗喷头(6)和水洗喷头(8)，所述水槽包括酸洗槽(7)和水洗槽(9)；

所述输送装置(13)包括刻蚀输送辊组、旋转吸取器(3)和水洗输送辊组，所述第一刻蚀组件(1)和第二刻蚀组件(2)沿硅片(5)前进方向依次设置在刻蚀输送辊组上，所述旋转吸取器(3)设置在第一刻蚀组件(1)和第二刻蚀组件(2)之间，所述水洗输送辊组设置在所述水槽上方、所述喷头下方；

所述刻蚀装置、水洗装置和输送装置(13)分别与控制器电连接。

2.如权利要求1所述的刻蚀水洗装置，其特征在于，所述第一刻蚀组件(1)、第二刻蚀组件(2)均包括若干组激光发生器组，每组所述激光发生器组包括两个相对设置的激光发生器(4)，每组激光发生器组的两个激光发生器(4)之间的空间用于放置硅片(5)。

3.如权利要求1所述的刻蚀水洗装置，其特征在于，所述酸洗喷头(6)和酸洗槽(7)之间通过酸洗循环管和泵连通，所述水洗喷头(8)和水洗槽(9)之间通过水洗循环管和泵连通。

4.如权利要求1所述的刻蚀水洗装置，其特征在于，所述旋转吸取器(3)包括液压杆(10)和负压装置，所述液压杆(10)底部连接有旋转驱动件(11)，所述旋转驱动件(11)底部安装有吸附板(12)，所述吸附板(12)具有开口朝下的真空腔，所述真空腔通过气管与负压装置连通。

5.如权利要求4所述的刻蚀水洗装置，其特征在于，所述旋转驱动件(11)为步进电机。

6.如权利要求4所述的刻蚀水洗装置，其特征在于，所述真空腔与气管连接处设置有电磁阀。