[实用新型]晶圆盘可移动工作台

权利要求书

1.晶圆盘可移动工作台，包括移动平台(1)，其特征在于，所述移动平台(1)的上端转动连接有支撑柱，所述支撑柱贯穿并固定连接有第一锥齿轮(7)，所述移动平台(1)的上端固定连接有固定块，所述固定块上固定连接有电机(9)，所述电机(9)的输出端固定连接有第二锥齿轮(8)，所述第二锥齿轮(8)与第一锥齿轮(7)相互啮合，所述支撑柱的上端固定连接有托盘(10)，所述托盘(10)上端设有晶圆载盘(11)，所述晶圆载盘(11)上设有多个晶圆槽(12)，所述托盘(10)与晶圆载盘(11)之间设有两个安装机构，所述移动平台(1)的上端固定连接有限位板，所述限位板上端固定连接有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的上端固定连接有拉手(24)，所述拉手(24)与限位板之间设有定位机构，所述拉手(24)的下端固定连接有齿条板(23)，所述限位板的侧壁固定连接有两个斜板，两个所述斜板之间转动连接有转动杆，所述转动杆贯穿并固定连接有与齿条板(23)相互啮合的齿轮(13)，所述齿轮(13)固定连接有照明灯(14)，所述移动平台(1)的下端固定连接有四个支撑腿(4)，四个所述支撑腿(4)的下端均固定连接有万向轮，四个所述支撑腿(4)之间贯穿并滑动连接有压板(3)，所述压板(3)与移动平台(1)之间设有限位机构。

2.根据权利要求1所述的晶圆盘可移动工作台，其特征在于，所述安装机构包括与托盘(10)的侧壁固定连接的连接块(19)，所述托盘(10)的上端固定连接有导向柱(20)，所述连接块(19)上贯穿设有第一空槽和第二空槽，所述第一空槽贯穿导向柱(20)并与其内壁滑动连接，所述托盘(10)的侧壁贯穿设有T形槽(22)，所述T形槽(22)的内壁滑动连接有T形块(21)，所述T形块(21)与T形槽(22)的内壁之间固定连接有弹簧(18)，所述T形块(21)的上端固定连接有与第二空槽的内壁滑动连接的限位块(17)。

3.根据权利要求1所述的晶圆盘可移动工作台，其特征在于，所述定位机构包括与拉手(24)下端固定连接的第一磁块(15)，所述限位板的侧壁固定连接有第二磁块(16)，所述第一磁块(15)与第二磁块(16)相对端磁性相异。

4.根据权利要求1所述的晶圆盘可移动工作台，其特征在于，所述限位机构包括与移动平台(1)的下端固定连接的第二伸缩杆(2)，所述第二伸缩杆(2)的下端与压板(3)之间固定连接，所述压板(3)上贯穿设有四个与万向轮滑动连接的内槽(5)，所述移动平台(1)的下端固定连接有L形板，所述L形板贯穿并螺纹连接有丝杆(6)，所述丝杆(6)与压板(3)的上端之间转动连接。

5.根据权利要求2所述的晶圆盘可移动工作台，其特征在于，两个所述第二空槽与两个限位块(17)相匹配。

6.根据权利要求1所述的晶圆盘可移动工作台，其特征在于，所述压板(3)的下端设为摩擦面。