[实用新型]晶圆盘可移动工作台

说明书

本实用新型公开了晶圆盘可移动工作台，包括移动平台，所述移动平台的上端转动连接有支撑柱，所述支撑柱贯穿并固定连接有第一锥齿轮，所述移动平台的上端固定连接有固定块，所述固定块上固定连接有电机，所述齿轮固定连接有照明灯，所述移动平台的下端固定连接有四个支撑腿，四个所述支撑腿的下端均固定连接有万向轮，所述压板与移动平台之间设有限位机构。本实用新型，结构合理，工作台上对晶圆载盘进行安装时，其安装简单，操作容易，同时可以调节照明灯的角度，更清楚观看到晶圆表面，在移动台进行移动后，需要固定在某处时，可以将压板与地面相抵，对四个万向轮进行限位，四个支撑腿对工作台进行稳定支撑。

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及晶圆盘可移动工作台。

背景技术

晶圆切割是晶圆在制造过程中重要的一环，晶圆通过划片工艺被切割成小的晶片。由于晶圆切割是半导体后道封装工艺中的第一步，晶圆上的待切割区域已经预先布局好，一旦晶圆切割失败或精度达不到，损失成本很高，对进行晶圆切割的设备的精度和稳定性要求极高。

对于晶圆进行作业时，需要用专门的工作台对晶圆进行相关操作，传统的工作台不易对圆盘进行承载，其次也不能很清楚的观看圆盘的表面，对工作台进行固定与移动也不便。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的晶圆盘可移动工作台，其工作台上对晶圆载盘进行安装时，其安装简单，操作容易，同时可以调节照明灯的角度，更清楚观看到晶圆表面，在移动台进行移动后，需要固定在某处时，可以将压板与地面相抵，对四个万向轮进行限位，四个支撑腿对工作台进行稳定支撑。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

晶圆盘可移动工作台，包括移动平台，所述移动平台的上端转动连接有支撑柱，所述支撑柱贯穿并固定连接有第一锥齿轮，所述移动平台的上端固定连接有固定块，所述固定块上固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮相互啮合，所述支撑柱的上端固定连接有托盘，所述托盘上端设有晶圆载盘，所述晶圆载盘上设有多个晶圆槽，所述托盘与晶圆载盘之间设有两个安装机构，所述移动平台的上端固定连接有限位板，所述限位板上端固定连接有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的上端固定连接有拉手，所述拉手与限位板之间设有定位机构，所述拉手的下端固定连接有齿条板，所述限位板的侧壁固定连接有两个斜板，两个所述斜板之间转动连接有转动杆，所述转动杆贯穿并固定连接有与齿条板相互啮合的齿轮，所述齿轮固定连接有照明灯，所述移动平台的下端固定连接有四个支撑腿，四个所述支撑腿的下端均固定连接有万向轮，四个所述支撑腿之间贯穿并滑动连接有压板，所述压板与移动平台之间设有限位机构。

优选地，所述安装机构包括与托盘的侧壁固定连接的连接块，所述托盘的上端固定连接有导向柱，所述连接块上贯穿设有第一空槽和第二空槽，所述第一空槽贯穿导向柱并与其内壁滑动连接，所述托盘的侧壁贯穿设有T形槽，所述T形槽的内壁滑动连接有T形块，所述T形块与T形槽的内壁之间固定连接有弹簧，所述T形块的上端固定连接有与第二空槽的内壁滑动连接的限位块。

优选地，所述定位机构包括与拉手下端固定连接的第一磁块，所述限位板的侧壁固定连接有第二磁块，所述第一磁块与第二磁块相对端磁性相异。

优选地，所述限位机构包括与移动平台的下端固定连接的第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的下端与压板之间固定连接，所述压板上贯穿设有四个与万向轮滑动连接的内槽，所述移动平台的下端固定连接有L形板，所述L形板贯穿并螺纹连接有丝杆，所述丝杆与压板的上端之间转动连接。

优选地，两个所述第二空槽与两个限位块相匹配。

优选地，所述压板的下端设为摩擦面。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：