[实用新型]一种高效环保的光刻版清洗夹具有效
申请号: | 202022855945.5 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN213728432U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 明静;张敏 | 申请(专利权)人: | 深圳微纳电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 环保 光刻 清洗 夹具 | ||
1.一种高效环保的光刻版清洗夹具,包括底盘(1),其特征在于:所述底盘(1)上表面的一侧开设有第一滑槽(2),所述底盘(1)上表面的另一侧开设有第二滑槽(3),所述第一滑槽(2)的内部活动连接有第一滑块(4),所述第二滑槽(3)的内部活动连接有第二滑块(5),所述第一滑块(4)和第二滑块(5)的上表面固定连接有夹板(6),所述夹板(6)上表面的中部开设有放置槽(7),所述夹板(6)的一侧开设有活动孔(8),所述活动孔(8)内壁开设有固定槽(9)。
2.根据权利要求1所述的一种高效环保的光刻版清洗夹具,其特征在于:所述固定槽(9)的内部活动连接有固定块(10)。
3.根据权利要求2所述的一种高效环保的光刻版清洗夹具,其特征在于:所述固定块(10)的一侧固定连接有放置板(11)。
4.根据权利要求1所述的一种高效环保的光刻版清洗夹具,其特征在于:所述底盘(1)上表面的中部固定连接有支撑柱(12)。
5.根据权利要求4所述的一种高效环保的光刻版清洗夹具,其特征在于:所述支撑柱(12)的外表面固定连接有固定环(13),所述固定环(13)与夹板(6)呈活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种高效环保的光刻版清洗夹具,其特征在于:所述第一滑槽(2)和第二滑槽(3)的内部均开设有通孔(14)。
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