[实用新型]一种高效环保的光刻版清洗夹具

说明书

本实用新型提供一种高效环保的光刻版清洗夹具，属于光刻版清洗夹具技术领域，该高效环保的光刻版清洗夹具包括底盘，所述底盘上表面的一侧开设有第一滑槽，所述底盘上表面的另一侧开设有第二滑槽，所述第一滑槽的内部活动连接有第一滑块，所述第二滑槽的内部活动连接有第二滑块。该高效环保的光刻版清洗夹具，通过底盘、第一滑槽、第二滑槽、第一滑块、第二滑块和夹板的设置，在使用时先将光刻板放入夹板中，多个夹板可同时放入批量光刻板，再将夹具整体放进清洗液中，当清理完一个光刻板后，拨动夹板使第一滑块和第二滑块在第一滑槽和第二滑槽内移动，从而清洗多个光刻板，大大提高了清洗效率。

技术领域

本实用新型属于光刻版清洗夹具技术领域，具体涉及一种高效环保的光刻版清洗夹具。

背景技术

光刻版是集成电路、显示器、磁盘、光网络器件、生物芯片等许多产品制造中的关键元素，光刻版是覆有微细图形的高精度石英版，这些产品的制造所使用光刻工艺中，光刻版就用来将关键图形印制到硅片或其他基材上，但是光刻版在长期使用中容易被有机物沾污，经常更换成本非常高，定期清洗可以是去除黏附在光刻板上的颗粒，从而达到延长光刻版的使用寿命。

但是现有的清洗方式大多是将光刻板放入夹具中，再将手持夹具放进清洗液中，再用清洁工具清理，但是这种夹具夹持数量有限，效率低，不能批量清理，并且夹具夹装麻烦，需要先打开夹具再放入光刻板，清洗不干净，影响清洗效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效环保的光刻版清洗夹具，旨在解决现有技术中夹具夹装麻烦，夹持数量有限效率低，不能批量清理的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效环保的光刻版清洗夹具，包括底盘，所述底盘上表面的一侧开设有第一滑槽，所述底盘上表面的另一侧开设有第二滑槽，所述第一滑槽的内部活动连接有第一滑块，所述第二滑槽的内部活动连接有第二滑块，所述第一滑块和第二滑块的上表面固定连接有夹板，所述夹板上表面的中部开设有放置槽，所述夹板的一侧开设有活动孔，所述活动孔内壁开设有固定槽。

为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到便于固定的作用，作为本实用新型一种优选的，所述固定槽的内部活动连接有固定块。

为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到放置方便的作用，作为本实用新型一种优选的，所述固定块的一侧固定连接有放置板。

为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到便于移动的目的，作为本实用新型一种优选的，所述底盘上表面的中部固定连接有支撑柱。

为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到活动方便的效果，作为本实用新型一种优选的，所述支撑柱的外表面固定连接有固定环，所述固定环与夹板呈活动连接。

为了使得该一种高效环保的光刻版清洗夹具达到引流的作用，作为本实用新型一种优选的，所述第一滑槽和第二滑槽的内部均开设有通孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该高效环保的光刻版清洗夹具，通过底盘、第一滑槽、第二滑槽、第一滑块、第二滑块和夹板的设置，在使用时先将光刻板放入夹板中，多个夹板可同时放入批量光刻板，再将夹具整体放进清洗液中，当清理完一个光刻板后，拨动夹板使第一滑块和第二滑块在第一滑槽和第二滑槽内移动，从而清洗多个光刻板，大大提高了清洗效率。

、该高效环保的光刻版清洗夹具，通过活动孔和放置板的设置，在使用时，先将光刻板放在夹板内，再向下拨动放置板使光刻板完全放进夹具中，再放入清洗液中清洗，清洗完成后，可拨动放置板在活动孔内移动使光刻板向上推出，从而方便工作人员拿取光刻板，夹装方便，大大增加了实用性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：