[实用新型]一种蓝膜剥离机构

说明书

本实用新型公开一种蓝膜剥离机构，包括固定底座和移动剥膜装置，移动剥膜装置架设在固定底座上方，移动剥膜装置包括双层固定架、伸缩内轴和侧滑块；伸缩内轴穿过并设置在双层固定架底部，伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块滑动设置在双层固定架底部的四边；所述伸缩内轴向下运动时，伸缩内轴推动四个所述的侧滑块呈十字方向向外水平运动。所述固定底座上设置有铁环限位凸起。所述侧滑块上设置有与伸缩内轴接触的滑轮，所述侧滑块底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片。本案将伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，使得在蓝膜边缘剥离铁环边缘时，可以缓和的力量进行剥离。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，特别涉及一种蓝膜剥离机构。

背景技术

铁环是在晶圆生产中极为重要的一个部件，生产过程中，铁环会包覆着蓝膜，在生产过后需要将铁环与蓝膜分开。

在半导体行业，膜环分离是靠外力将内环脱离，然后在将外环与残膜进行剥离的方式进行，并且对分离后的内环、外环、残膜分开单独收集。目前行业内大部分采用人工进行拆环动作，人工拆环的速度低，很难保证内环、外环朝向一致，影响加工效率，增加企业生产成本，存在不足。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蓝膜剥离机构，克服上述缺陷，膜环边缘剥离更加均匀。

为达成上述目的，本实用新型的解决方案为：一种蓝膜剥离机构，包括固定底座和移动剥膜装置，移动剥膜装置架设在固定底座上方，移动剥膜装置包括双层固定架、伸缩内轴和侧滑块；伸缩内轴穿过并设置在双层固定架底部，伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块滑动设置在双层固定架底部的四边；所述伸缩内轴向下运动时，伸缩内轴推动四个所述的侧滑块呈十字方向向外水平运动。

优选的，所述固定底座上设置有铁环限位凸起。

优选的，所述侧滑块上设置有与伸缩内轴接触的滑轮，所述侧滑块底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片。

采用上述方案后，本实用新型的有益效果在于：本案将伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，使得在蓝膜边缘剥离铁环边缘时，可以缓和的力量进行剥离。

附图说明

图1是本实用新型第一蓝膜剥离机构的立体图一；

图2是本实用新型第一蓝膜剥离机构的立体图二；

图3是本实用新型第一蓝膜剥离机构的剖视图；

图4是本实用新型侧滑块的立体图一；

图5是本实用新型侧滑块的立体图二。

标号说明：固定底座(41)、移动剥膜装置(42)、双层固定架(43)、伸缩内轴(44)、侧滑块(45)、滑轮(451)、摩擦片(452)、铁环限位凸起(411)。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施例对本实用新型做详细的说明。

如图1-5所示，本实用新型提供一种蓝膜剥离机构，包括固定底座41和移动剥膜装置42，移动剥膜装置42架设在固定底座41上方，移动剥膜装置42包括双层固定架43、伸缩内轴44和侧滑块45；伸缩内轴44穿过并设置在双层固定架43底部，伸缩内轴44下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块45滑动设置在双层固定架43底部的四边；所述伸缩内轴44向下运动时，伸缩内轴44推动四个所述的侧滑块45呈十字方向向外水平运动。在本案中，蓝膜剥离机构所涉及的“剥离”的步骤，是指蓝膜的边缘与铁环的边缘分开，经剥离后，蓝膜主体还是与铁环在一起。本案中，将伸缩内轴44下部设计为向下收缩的圆台是可以使得让伸缩内轴44在向下运动时，利用圆台形的侧面均匀地将侧滑块45横向推出，可以缓和的力量进行剥离。

在本案中，伸缩内轴44由气动马达驱动进行伸缩。