[实用新型]一种清洗半导体芯片的四氟清洗架有效
申请号: | 202022859883.5 | 申请日: | 2020-12-03 |
公开(公告)号: | CN213242509U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 张敏;明静 | 申请(专利权)人: | 深圳微纳电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 半导体 芯片 | ||
1.一种清洗半导体芯片的四氟清洗架,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部左右两侧均安装有支撑机构(2);
所述支撑机构(2)包括长杆(201)、螺纹(202)、套筒(203)和把手(204);
两个所述长杆(201)的底部分别与底板(1)的顶部左右两侧转动相连,两个所述长杆(201)的外壁均加工有螺纹(202),两个所述螺纹(202)的外壁上下两侧分别与套筒(203)的内壁螺纹连接,多个所述套筒(203)的正面上方分别与把手(204)的后端面底部相固接。
2.根据权利要求1所述的一种清洗半导体芯片的四氟清洗架,其特征在于:所述螺纹(202)、套筒(203)和把手(204)组成升降机构。
3.根据权利要求1所述的一种清洗半导体芯片的四氟清洗架,其特征在于:多个所述套筒(203)的外壁均间隙配合有厚板(6),两个所述厚板(6)的正面和底板(1)的正面均等距加工有凹槽(5)。
4.根据权利要求3所述的一种清洗半导体芯片的四氟清洗架,其特征在于:两个所述厚板(6)的左右两侧均安装有固定机构(3);
所述固定机构(3)包括直杆(301)、圆球(302)、曲块(303)和弹簧(304);
所述直杆(301)的外壁右侧与厚板(6)的左侧间隙配合,所述直杆(301)的右侧与圆球(302)的左侧相固接,所述直杆(301)的左侧与曲块(303)的右侧相固接,所述直杆(301)的外壁与弹簧(304)的内壁相套接,所述弹簧(304)的左右两侧分别与曲块(303)的右侧和厚板(6)的左侧相固接。
5.根据权利要求4所述的一种清洗半导体芯片的四氟清洗架,其特征在于:多个所述圆球(302)的外壁分别与套筒(203)的外壁曲槽相插接。
6.根据权利要求1所述的一种清洗半导体芯片的四氟清洗架,其特征在于:两个所述长杆(201)的顶部均安装有连接机构(4);
所述连接机构(4)包括橡胶垫(401)、曲板(402)和螺栓(403);
所述橡胶垫(401)的底部与长杆(201)的顶部相贴合,所述橡胶垫(401)的顶部与曲板(402)的底部相贴合,所述曲板(402)的内壁通过螺栓(403)与长杆(201)的顶部螺纹连接。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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