[实用新型]一种单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：

单晶炉本体，所述单晶炉本体包括炉盖部与炉颈部，所述炉颈部位于所述炉盖部的上方，所述炉颈部的内径小于所述炉盖部的内径；所述炉盖部上或其与所述炉颈部连接处设有第一进气口，所述炉颈部上设有第二进气口；

供气装置，所述供气装置包括：

用于提供气体的气源；

三通阀，所述三通阀上设有三个接口；

第一供气管路；

第二供气管路；

第三供气管路；

所述第一供气管路、第二供气管路和第三供气管路的一端分别与所述三个接口连通，另一端分别与所述气源、第一进气口和所述第二进气口连通；气体从所述第一供气管路进入，经过所述三通阀调节以使得气体从所述第一进气口或第二进气口输入所述单晶炉本体。

2.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述单晶炉本体还包括炉身部，所述炉身部固定连接所述炉盖部，所述炉身部位于所述炉盖部的下方，从所述第二进气口进入的气体在所述炉身部形成的气流方向平行于所述炉颈部的轴线。

3.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述炉颈部包括炉颈盖，所述炉盖部延伸到所述炉颈盖，所述第二进气口设置于所述炉颈盖上，所述炉颈盖的内径小于所述炉盖部的内径。

4.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述炉颈部包括法兰，所述第二进气口设置于所述法兰上，所述法兰固定连接于所述炉盖部的上方。

5.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述炉颈部包括副炉，所述第二进气口设置于所述副炉上，所述副炉位于所述炉盖部的上方。

6.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述三通阀包括控制器，通过所述控制器调节使得气体从所述第二供气管路或第三供气管路分别输向第一进气口或向第二进气口。

7.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述三通阀通过支架固定安装于所述炉盖部上。

8.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述第一供气管路、第二供气管路和第三供气管路为金属软管。

9.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述三通阀为直动式三通电磁阀。