[实用新型]一种具有夹持定位机构的键合检查机有效
申请号: | 202022864058.4 | 申请日: | 2020-12-03 |
公开(公告)号: | CN213816081U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 钟金鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州殷迪新科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 李娅 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 夹持 定位 机构 检查 | ||
1.一种具有夹持定位机构的键合检查机,包括横块(1),其特征在于:所述横块(1)的后侧上端固定有键合检查机本体(2),所述横块(1)内开设有空腔(31),所述空腔(31)内滑动连接有滑动块(32),所述滑动块(32)的下端固定有限制块(33),所述限制块(33)通过滑槽(34)滑动连接于横块(1)内壁,所述横块(1)内开设有通孔(37),所述通孔(37)内滑动连接有固定销(36),所述固定销(36)通过螺纹槽螺纹滑动块(32)内壁,所述滑动块(32)的上端穿过横块(1)与连接板(35)连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有夹持定位机构的键合检查机,其特征在于:所述横块(1)的下端设有底块(11)。
3.根据权利要求1所述的一种具有夹持定位机构的键合检查机,其特征在于:所述连接板(35)内螺纹连接有螺纹杆(41)。
4.根据权利要求1所述的一种具有夹持定位机构的键合检查机,其特征在于:所述连接板(35)的内侧固定有伸缩杆(44)。
5.根据权利要求4所述的一种具有夹持定位机构的键合检查机,其特征在于:所述伸缩杆(44)的另一端固定有压板(42)。
6.根据权利要求3所述的一种具有夹持定位机构的键合检查机,其特征在于:所述螺纹杆(41)的一端通过轴承转动连接于压板(42)内壁。
7.根据权利要求5所述的一种具有夹持定位机构的键合检查机,其特征在于:所述压板(42)的外侧固定粘接有橡胶板(43)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造