[实用新型]一种高精度渗透标准气体发生装置有效

专利信息
申请号: 202022866676.2 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN214051189U 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 张良;李逾晖 申请(专利权)人: 杭州晟境科技有限公司
主分类号: B01F3/02 分类号: B01F3/02;B01F15/06;B01F15/00
代理公司: 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 代理人: 余冬;万珠明
地址: 310051 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 高精度 渗透 标准 气体 发生 装置
【权利要求书】:

1.一种高精度渗透标准气体发生装置,包括渗透载气流量控制器(10)、具有温控系统的渗透室(6)、稀释腔(7)和稀释载气流量控制器(11),其特征在于:所述渗透载气流量控制器(10)经渗透载气入口(1)连通有呈三段式温控加热的第一渗透载气温控区(2)、第二渗透载气温控区(3)和第三渗透载气温控区(4);所述第三渗透载气温控区(4)的出口经管道连接渗透室(6),渗透室(6)中设有渗透管(8);所述渗透室(6)的出口连接稀释腔(7)的一个入口,稀释腔(7)的另外一个入口与稀释载气流量控制器(11)连接;所述稀释腔(7)上设有标准气出口(9)。

2.根据权利要求1所述的高精度渗透标准气体发生装置,其特征在于:所述第一渗透载气温控区(2)、第二渗透载气温控区(3)和第三渗透载气温控区(4)均是管壁为加热层(12)的圆管,且加热层(12)的厚度呈阶梯式依次变大。

3.根据权利要求2所述的高精度渗透标准气体发生装置,其特征在于:所述第一渗透载气温控区(2)、第二渗透载气温控区(3)和第三渗透载气温控区(4)的中部设有多个气体通道(14)。

4.根据权利要求1所述的高精度渗透标准气体发生装置,其特征在于:该装置还包括一个温度校准系统(5),所述温度校准系统(5)包括装有冰水混合物的水箱(15),水箱(15)的底部设有TEC制冷片(16);所述水箱(15)中设有第二温度传感器(17)。

5.根据权利要求1所述的高精度渗透标准气体发生装置,其特征在于:所述渗透室(6)和稀释腔(7)的内壁为惰性表面。

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