[实用新型]一种高精度渗透标准气体发生装置

说明书

本实用新型公开了一种高精度渗透标准气体发生装置，包括渗透载气流量控制器、具有温控系统的渗透室、稀释腔和稀释载气流量控制器，所述渗透载气流量控制器经渗透载气入口连通有呈三段式温控加热的第一渗透载气温控区、第二渗透载气温控区和第三渗透载气温控区；所述第三渗透载气温控区的出口经管道连接渗透室，渗透室中设有渗透管；所述渗透室的出口连接稀释腔的一个入口，稀释腔的另外一个入口与稀释载气流量控制器连接；所述稀释腔上设有标准气出口。本实用新型可以产生各种不懂浓度的标准气体，具有准确性好的优点。

技术领域

本实用新型涉及标准气体发生装置技术领域，特别涉及一种高精度渗透标准气体发生装置。

背景技术

现有标准气体发生装置有两种技术路线，一种是利用比例稀释的方法把钢瓶标准气稀释为目标浓度的气体，其缺点是：1、外置的钢瓶体积大，使用不方便；2、耗气量大，需要经常更换，不够经济；3、钢瓶气体的标准浓度会在整个使用过程变化，整个标准气体发生装置的产生的准确度不高。一种是采用渗透原理的标准气体发生装置，原理上渗透管的渗透速度会在压力温度恒定的条件下保持稳定，但是现有的渗透原理的校准装置在渗透炉的温度控制上都是采用对渗透管的安装结构进行控制，默认安装结构就是渗透温度，在该条件下计算渗透率和渗透浓度，然后通过非温控的稀释气体，稀释产生标准浓度，其缺点是：1、非温控的稀释气体会导致渗透管的温度不均匀，不稳定会导致渗透率不准确；2、渗透管的安装装置采用常规的处理，对于高浓度非极性气体存在吸付。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种高精度渗透标准气体发生装置。本实用新型可以产生各种不懂浓度的标准气体，具有准确性好的优点。

本实用新型的技术方案：一种高精度渗透标准气体发生装置，包括渗透载气流量控制器、具有温控系统的渗透室、稀释腔和稀释载气流量控制器，所述渗透载气流量控制器经渗透载气入口连通有呈三段式温控加热的第一渗透载气温控区、第二渗透载气温控区和第三渗透载气温控区；所述第三渗透载气温控区的出口经管道连接渗透室，渗透室中设有渗透管；所述渗透室的出口连接稀释腔的一个入口，稀释腔的另外一个入口与稀释载气流量控制器连接；所述稀释腔上设有标准气出口。

上述的高精度渗透标准气体发生装置，所述第一渗透载气温控区、第二渗透载气温控区和第三渗透载气温控区均是管壁为加热层的圆管，且加热层的厚度呈阶梯式依次变大。

前述的高精度渗透标准气体发生装置，所述第一渗透载气温控区、第二渗透载气温控区和第三渗透载气温控区的中部设有多个气体通道。

前述的高精度渗透标准气体发生装置，该装置还包括一个温度校准系统，所述温度校准系统包括装有冰水混合物的水箱，水箱的底部设有TEC制冷片；所述水箱中设有第二温度传感器。

前述的高精度渗透标准气体发生装置，所述渗透室和稀释腔的内壁为惰性表面。

与现有技术相比，本实用新型经过三段式的第一渗透载气温控区、第二渗透载气温控区和第三渗透载气温控区对渗透载气进行加热，可以保证渗透载气的温度和设定的渗透温度偏差小于0.01℃，不会因为载气温度的偏差导致渗透管的渗透效率偏差；本实用新型利用具有温控系统的渗透室使得渗透管的温度恒定，同时通过渗透载气的温度保证渗透管和渗透载气的接触温度恒定为设置的渗透温度，保证渗透效率准确，最后通过大流量的稀释气来稀释小流量的渗透载气，获得各种需求的浓度的标准气体，从而具有准确性好的优点。此外，本实用新型将渗透室和稀释腔的内壁进行惰性话的表面处理形成为惰性表面，不会影响非极性气体的表面吸付，保证标气浓度的准确。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是加热层的结构示意图；

图3是气体通道的结构示意图；

图4是温度校准系统的结构示意图。

附图标记