[实用新型]一种全永磁电子回旋共振离子源

权利要求书

1.一种全永磁电子回旋共振离子源，包括套设于等离子体共振腔(1)上的中空电磁线圈(2)，中空电磁线圈(2)外部包覆有外部磁轭(3)，且中空电磁线圈(2)两端设有外端磁轭(4)，其特征在于：所述外部磁轭(3)的环形端面上开设有环绕所述中空电磁线圈(2)设置的环形槽(31)，所述外端磁轭(4)与所述外部磁轭(3)配合的端面上固定有与所述环形槽(31)插接配合的金属固定环(41)；所述环形槽(31)的内壁上开设有卡接凹槽(311)，所述金属固定环(41)上设有嵌入所述卡接凹槽(311)内的弹性卡接部(5)。

2.根据权利要求1所述的一种全永磁电子回旋共振离子源，其特征在于：所述金属固定环(41)的外壁上开设有伸缩槽(411)，所述弹性卡接部(5)包括滑动安装在伸缩槽(411)内的伸缩块(51)、固定于所述伸缩块(51)与所述伸缩槽(411)内壁之间的伸缩弹簧(52)；所述伸缩块(51)远离所述伸缩弹簧(52)的一端嵌入所述卡接凹槽(311)内。

3.根据权利要求2所述的一种全永磁电子回旋共振离子源，其特征在于：所述伸缩块(51)嵌入所述卡接凹槽(311)内的端部呈半球形，且所述卡接凹槽(311)内壁也呈半球形；所述外部磁轭(3)外壁开设有与所述卡接凹槽(311)内壁连通的顶压细孔(312)。

4.根据权利要求1所述的一种全永磁电子回旋共振离子源，其特征在于：所述环形槽(31)远离所述外端磁轭(4)的内壁开设有固定槽(313)，所述金属固定环(41)上固定有与所述固定槽(313)插接配合的固定块(43)；所述外部磁轭(3)外壁上穿设有紧固螺栓(32)，所述紧固螺栓(32)端部穿入所述固定槽(313)内并与所述固定块(43)螺纹配合。

5.根据权利要求1所述的一种全永磁电子回旋共振离子源，其特征在于：所述金属固定环(41)的内壁上设有镀铬层(42)，且所述金属固定环(41)通过所述镀铬层(42)与所述环形槽(31)靠近所述中空电磁线圈(2)的内壁抵紧。